ALICAT 气体质量流量控制器 03系列产品特色

● 价格低廉，性能好

● 超小的体积，轻松置于掌心，适合系统集成

● 压损极低，最小满量程压损仅为 600Pa

● 内置精巧的PI阀（比例微分阀），控制稳定、精确

● 测量和控制范围0.1 ~ 100%满量程，一台设备适用于多个应用

●状态指示灯（LED），可指示电源，串口通讯，错误

●配置累计功能，可用于监测转移、批量和定量。

技术指标

介质要求    洁净、干燥、无腐蚀性气体

介质种类   可兼容Air，N2，O2，CH4，Ar，CO2，N2O，He，H2

满量程：    标准0 - 100 SCCM至0-100SLPM，可10-125%量程标定      

测量和控制范围    0.1 ~ 100%满量程 （1000:1）        

精    度 ：

Air/N2/O2/CH4：±1.5%读数或者±0.2%满量程，取大值；

He/H2：±1.8%满量程；

Ar：±1.5%读数或者±0.5%满量程，取大值；

CO2/N2O：100SCCM-2SLPM---±1.5%读数或者±0.5%满量程，取大值；

                 5-20SLPM---±2.0%读数或者±1.0%满量程，取大值；

                 50-100SLPM----±3.0%读数或者±2.0%满量程，取大值；

重 复 性：    ±0.25 %读数或者±0.05%满量程，取大值

温度敏感性（质量流量零点和满量程漂移）：± 0.05 % 读数/ ℃（从校准温度开始）

温度精度：±1.5℃

累计流量精度：标准精度额外增加±0.6%读数

控制响应时间（T63）    优于100 ms，与量程相关，用户可调

预热时间    1分钟（5分钟最佳）

标准状况（STP）：0℃，20℃，25℃，70℉ & 1Atm，用户可定制

操作温度：    0 ～ 50℃（介质和环境）

工作湿度      0-95 %，无冷凝

最大操作压力  100SCCM-5SLPM:0-145PSIG

               10SLPM:0-100PSIG

               20SLPM:0-60PSIG

               50-100SLPM:0-145PSIG

  注：10SLPM和20SLPM可定制阀门选项，提高操作压力

耐压：  175PSIG

数字信号： Modbus ASCII和RTU 基于 RS485或RS232

数字信号刷新频率：最快176Hz，与波特率和系统相关

模拟信号： 0 - 5 Vdc或4 - 20 mA

模拟信号刷新频率：  400Hz

模拟信号精度：标准精度额外增加±0.125%满量程

电气接口：6针 JST GH

供电需求：    12-24 Vdc，210mA

材    质 ：

主体材质：硬质阳极氧化铝

阀门材质：黄铜，300系列不锈钢，NBR（丁晴橡胶），FR4树脂

密封材质：FKM

传 感 器：SiO2/SiNx/Si, Ablebond 84-3J，PBT UL 94V-0，锡，紫铜

过程连接    NPT或SAE内螺纹

安装固定孔：2×M3×0.5螺纹，深度6mm

安装方向：   平行方向校准

阀门类型：常闭

防护等级    IP40

状态指示灯（LED）：电源，串口通讯，错误

尺寸详图