ALICAT 便携式高压气体质量流量计 62Q系列产品特色

●  准确。流量校准具有NIST可溯源精度，可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。

●  高效。只要您打开62Q系列便携式高压气体质量流量计，便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。

●  耐用。62Q系列便携式高压气体质量流量计专为方便携带而设计，而且能够抵抗坠落带来的影响。

精度升级

量程为10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度     ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取最大值）

测量范围             0.1 ~ 100%满量程

重复性               ± 0.1%满量程

技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考气体兼容表

            一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量    程    从0 - 10 SCCM 到 0 - 3000 SLPM

测量范围    0.5～100%满量程

最大显示流量    128%满量程

显 示 屏    带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精    度    ± 2 % 满量程 精度升级见上段

累计流量精度  流量精度之外增加±0.5%读数额外误差

重复性  ± 0.2%满量程

质量流量零点漂移     ± 0.01%满量程/ ℃（从25℃开始） 

                     ± 0.01%满量程/ Atm（从校准压力开始）

质量流量量程漂移     ± 0.01%读 数/ ℃（从25℃开始） 

                     ± 0.1 %读 数/ Atm（从校准压力开始）

响应时间    优于10 ms（与流量相关）

预热时间    < 1 s

默认标况（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选低温选项）

温度精度    ± 0.75℃

充电温度    0 ～ 45 ℃

工作湿度    0 ～ 95 %，无冷凝

最大工作压力    2MPa表压，进出口最大允许瞬时压差500 KPa

压力精度    ±0.5%读数（读数＞1 Atm），或±0.07 PSIA（＜1Atm）

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@19200波特率

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输出信号   RS232

供电电压    5 VDC （Micro - USB - B）

电气接口    Micro-USB-B

泄漏率（外漏）    选择HLCP选项，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He

续航时间    黑白屏 18小时，彩屏 5小时

材    质    302，303，304,316L不锈钢、FKM氟橡胶、陶瓷、硅橡胶、聚酰胺、环氧树脂、金、硅、玻璃。

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认    证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）

选项配件

（需另行订购）

●  过程端口接头和过滤器

●  电源

●  通讯线缆和转换线缆

●  BB3和BB9多点式集线盒

●  Flow Vision软件

包装清单

●  62Q系列便携式高压气体质量流量计（已充满电）

●  微型USB充电线缆和AC壁装式适配接头

●  NIST可溯源校准证书

●  艾里卡特操作说明书