全自动化&高集成度&可视化光斑

操作简单，测试快速，为一般操作工人设计

一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。

采用工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于薄膜测量和器件质量控制的解决方案。

主要特点：

• 液晶调制技术，无机械转动部件，重复性，信噪比高

• 技术成像系技术，所有样品均可成像，对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.

• 反射式微光斑，覆盖全谱段，利于非均匀样品图案化样品测试

• 全自动集成度高，安装维护简便

• 一键式操作软件，快速简单

• 自动MAPPING扫描，分析样品镀膜均匀性

一键式全自动快速椭偏仪技术参数：

• 光谱范围：450-1000 nm

• 多种微光斑自动选择

• 光斑可视技术，可观测任何样品表面

• 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

• 70度角入射

• CCD探测器

高集成度全自动式设计，操作简便，安装快速，自动校验故障

• 液晶相调制

• 16个穆勒矩阵参数

• 1秒内完成全谱测量

• MyAuto View可视光斑技术

• 微光斑，四种可选

• 一键式操作，一键出报告