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一、等离子体产品原理
SPV-60真空等离子清洗机利用两个电极形成电磁场，用真空泵实现有效的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的间距及分子或离子的自由运动的距离也越来越长，受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光。等离子体在电磁场内的空间运动，不断轰击被处理物体表面，去除表面有机污染物或其它杂质，以此达到表面处理清洗、活化、刻蚀的效果。
行业应用
1、陶瓷：封装、点胶前处理；
2、手机行业：TP、中框、后盖表面清洗活化；
3、PCB/FPC行业：孔内钻污及表面清洁、Coverlay表面粗化及清洁；
4、表面粗化蚀刻：PI表面粗化、PPS蚀刻、半导体硅片PN结去除、ITO膜蚀刻；
5、塑胶材料：Teflon特氟龙表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材质清洗活化；
6、半导体行业：半导体封装、摄像头模组、LED封装、BGA封装、Wire Bond前处理；
二、产品介绍1、产品概述SPV-60真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2、产品优势
(1)低耗能、耗气产品。
(2)便捷的收放板方式。
(3)真空系统集成，占地面积小。
(4)集成的控制系统设计，使操作更方便。
(5)合理的等离子反应空间，使处理更均匀。
(6)水平电极设计，可满足软性产品处理需求。
(7)产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。
3、产品结构真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。
（A）真空腔及真空发生系统真空腔固定于机柜框架内，左右两侧为可拆门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空发生系统由波纹管、KF接头、真空泵以及油雾过滤器组成，核心部件真空泵（真空泵组）。
（B）等离子体发生器等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电极板施加电压，产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电极板上，当真空腔内达到一定真空度时，产生等离子体放电现象，放电后电路会自动调节电压到适当值，保证电路正常稳定放电。
（C）控制系统本系统使用MCGS触摸屏、西门子PLC、中文界面。
设备的工艺流程控制：真空泵启动、挡板阀开启、达到设定的真空度、通入工艺气体、RF放电、工作时间到破真空工作完成，设备分自动和手动两种方式。
| 真空等离子主机 | ||
| 设备尺寸 | L950×W900×H1650mm | |
| 重量 | 350Kg | |
| 需求电源 | AC380V，50/60Hz，5线，16A（总空开选型为C型以上） | |
| 等离子发生器规格 | ||
| 电源功率 | 射频 | 中频 |
| 0~600W | 0-1000W | |
| 电源频率 | 13.56MHz | 40 KHz |
| 真空系统 | ||
| 真空泵 | 双级旋片泵（油泵）：40m3/h | |
| 真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 | |
| 材质 | 铝合金（可定制不锈钢腔体） | |
| 厚度 | 25mm | |
| 密封性 | 军工级焊接密封 | |
| 腔体内部尺寸 | 375×375×430mm（宽×高×深） | |
| 电极板有效尺寸 | 247×281mm（宽×深） | |
| 可用空间间距 | 22mm | |
| 电极板布置方式 | 水平布置，可活动抽取 | |
| 工作托盘 | 标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网） | |
| 工作空间 | 6层 | |
| 工艺气体 | ||
| 流量范围 | 0~300SCCM | |
| 工艺气体气路 | 标配两路，可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质 | |
| 控制系统 | ||
| 系统控制 | PLC | |
| 交互方式 | 7寸触控屏幕 | |
5、设备尺寸图纸
(1)主机尺寸图纸
(2)等离子腔体图纸
三、规格要求
1、厂务规格要求
| 厂务规格要求 | |
| 交流电源规格 | 电源：AC380V，50/60Hz，5线，16A（总空开选型为C型以上） |
| 厂务排气 | 流量：2.0 m³/min |
| 厂务工作气体要求 | 流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：6×4 mm 材质：PU管 纯度：99.99%以上 |
| 厂务压缩空气要求 | 流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：6×4 mm 材质：PU管 露点：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft³ |
2、配置清单
| 配置清单 | |||||
| 序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 备注 | |
| 1 | 主机 | SPV-60 | 1 | 台 | |
| 2 | 真空腔体 | 铝合金真空腔体 | 1 | PCS | |
| 3 | 激励电源 | 射频电源 | 中频电源 | 1 | 套 |
| 频率：13.56MHz； 功率0~600W 全自动真空电容匹配器 | 频率：40KHz； 0~1000W; | ||||
| 4 | PLC | 德国西门子，S7-200 | 1 | PCS | |
| 5 | 触摸屏 | 昆仑通态，七寸屏幕，TPC7072GI | 1 | PCS | |
| 6 | 流量计 | 英国warwick品牌 | 2 | PCS | |
| 7 | 真空泵组 | 飞越双级旋片泵（油泵）：40m3/h | 1 | 台 | |
| 8 | 真空计 | 英福康 | 1 | PCS | |
| 9 | 说明书 | SPV-60操作说明书 | 1 | 份 | |
3、验收标准
| 验收标准 | ||
| 项目 | NO. | 内容 |
| 硬件验收 | 1 | 设备清单验收 |
| 2 | 出厂报告 | |
| 3 | 说明书 | |
| 性能验收 | 1 | 试用样品进行处理，处理效果和均匀性满足客户验收标准或者合同协议要求。 |
| 稳定性测试 | 1 | 连续10分钟等离子清洗测试 |
| 2 | 试片水滴角测试 | |
| 验收日期 | 1 | 设备交付后 2 个月内必须完成验收 |
4、损耗清单
| 损耗清单 | ||||
| 序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 寿命时间 |
| 1 | 真空泵过滤芯 | AF60 | 1PCS | 6个月 |
| 2 | 真空泵油 | A200 | 5L | 3个月 |
| 3 | 腔门密封圈 | Φ10 | 1PCS | 1年 |
注：耗材的使用寿命时间与现场的使用条件有关系，以上寿命时间仅供参考
