一、等离子体介绍
1、等离子清洗机的产品原理
通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。
2、行业应用
二、产品介绍
1、等离子清洗机的产品概述
该大气等离子清洗机(Plasma cleaner)是国内的“数字化大气等离子清洗机”，一款拥有强大的“CPU”的大等离子清洗机。采用稳定性高的移相全桥软开关电路，拥有数字通信及模拟通信两种数据传输方式，通过ARM芯片强大的数据处理功能，实现设备数字化控制，客户产线，可达到中央控制系统统一监控，使清洗效果更稳定、更持久，抗干扰性能增强，减低故障率，控制维护成本，提高产能，有效减低生产成本。
2、产品优势
（1）军工级硬件设计，使用环境温度范围可达到-25℃-50℃，适应不同的严苛场景，MTBF时间可达到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃)；
（2）数字化控制，显示屏显示，实时监控，抗干扰强；
（3）采用TI品牌的移相全桥软开关电路和PFC功率因素校正，相对模拟硬开关电路效率可提高10%以上，响应时间小于0.1s，抗干扰性强；
（4）搭载ST品牌的ARM芯片，人机交互简单明了，强大的远程调试通讯功能，无缝对接任意的应用场景，自主研发的软件对实时采集的数据进行智能判断并协调工作，可实现功率自匹配，稳定无变化；
（5）支持RS-485/232数字通信接口和模拟通信接口，强大的远程通信功能；
（6）具有6种检测功能：气压检测、主板温度检测、变压器弧压检测、变压器初级峰值电流检测，电网电流检测，喷枪转速检测；
（7）具有十余种故障报警功能，故障排查定位时间缩短80%以上；
（8）等离子发生器同时支持射流喷枪、旋转喷枪及线性宽幅，一键设置，随时变换；
（9）具有过温防护、过载防护、短路、断路、漏电防护、各种误操作保护等防护功能。
3、产品结构
SPA-5600大气等离子清洗机结构：高压数字电源发生器、等离子发生装置喷枪与控制系统组成。
（1）高压数字电源发生器：等离子体的产生需要高压激励，SPA-5600大气等离子清洗机采用中频电源进行激励，数字化控制方式，可实现功率自匹配，保证功率的稳定输出，且输出精度高，输出功率不受气压波动，市网电压波动，喷枪电极老化等影响。参数需根据样品实际情况进行调节，以便达到处理效果。
（2）等离子发生装置喷枪：SPA-5600大气等离子清洗机搭配直喷喷枪：主要处理小面积、形状较复杂的材料，处理面积范围2-15mm，可与原有的生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。
（3）控制系统：控制系统作用在于控制SPA-5600大气等离子清洗机的运行，以及整体系统的保护。
4、产品规格
| 大气等离子主机 |
| 设备尺寸 | L463*W395*H159mm |
| 重量 | 10KG |
| 需求电源 | 电源：单相AC220V，50/60Hz， 10A，接地电阻小于4Ω |
| 等离子发生器规格 |
| 电源功率 | 600-950W（依据负载情况设定范围） |
| 电源频率 | 50/60Hz |
| 远程通信方式 | 模拟通信接口 |
| 控制方式 | 本地控制与远程控制 |
| 等离子枪头规格 |
| 处理宽度 | 20-90mm |
| 枪头尺寸 | L342*W85*H156mm |
| 重量 | 6.5KG |
| 枪头可调节高度 | 5-15mm |
| 气压范围 | 标准0.2MPA，0.08~0.25MPA可调 |
| 工艺气体 |
| 使用气体 | CDA或者N2 |
| 检测与报警 |
| 检测 | 气压检测、变压器弧压检测、变压器初级峰值电流检测、电网电流检测 |
| 报警 | 短路、断路、气压不足警报、 气体压力过高警报、主板错误警报 |
5、设备尺寸图纸
（1）旋转枪头尺寸图
（2）电源尺寸图
三、规格要求
1、厂务规格要求
| 厂务规格要求 |
| 需求电源 | 电源：单相AC220V，50/60Hz， 10A，接地电阻小于4Ω |
| 厂务排气 | 流 量 ：5m³/min |
| 材质：耐腐蚀材质 |
| 厂务压缩空气要求 | 管径：8mm |
| 材质：PU 管 |
| 压力：0.4-0.6MPa |
| 气源质量应该满足：固体颗粒粒径<=0.1um,含油量<=0.01mg/m³，压力露点-40°C以下 |
2、配置清单
| 配置清单 |
| 序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 备注 |
| 1 | 主机发生器 | SPA-2800 | 1 | 台 |
| 2 | 常规枪头 | 按客户要求配备 | 1 | 台 |
| 3 | 普通喷嘴 | 按客户要求配备 | 1 | PCS |
| 4 | 金属波纹管长 | 线长3.5M | 1 | 条 |
| 5 | 送货单 | 纸质文档 | 1 | 份 |
| 6 | DB15接头 | 线长20cm | 1 | 条 |
| 7 | 产品说明书 | 纸质文档 | 1 | 份 |
| 8 | 产品合格证 | 纸质文档 | 1 | 份 |
| 9 | 产品保修卡 | 纸质文档 | 1 | 份 |
| 10 | 产品质检报告 | 纸质文档 | 1 | 份 |
3、验收标准
| 验收标准 |
| 项目 | NO. | 内容 |
| 硬件验收 | 1 | 设备清单验收 |
| 2 | 出厂报告 |
| 3 | 说明书 |
| 性能验收 | 1 | 试用白片玻璃基板进行处理，线速度 4M/min 以下， 处理后的接触角平均 10°以下 测定时所用水滴角测量仪，液体为纯水 测试结果鉴定：白片玻璃处理前水滴角 30°以下， 等离子处理后 5分钟内测试水滴角，要求 10°以下。 |
| 稳定性测试 | 1 | 连续 1 小时等离子喷射测试 |
| 2 | 试片水滴角测试 |
| 验收日期 | 1 | 设备交付后 2个月内必须完成验收 |
4、损耗清单
| 损耗清单 |
| 序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 寿命时间 |
| 1 | 喷嘴 | / | 1 | 2300H |
| 2 | 电极 | / | 1 | 1800H |
| 3 | 皮带 | / | 1 | 4800H |
| 4 | 碳刷 | / | 1 | 6000H |
注：耗材的使用寿命时间与现场的使用条件有关系，以上寿命时间仅供参考
