光学镀膜系统概述：NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供*进的技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。

光学镀膜系统应用

• 光学涂层
• 溅射
• 离子束辅助沉积
• 离子束刻蚀清洗
• 离子束辅助反应刻蚀
• 红外涂层
• 表面处理

光学镀膜系统产品特点:

• 射频偏压样品台
• 膜厚监测仪
• 极限真空5x10-7Torr
• 高精度及高重复性
• 高品质膜层
• 原子级的洁净表面
• 原子级清洗和抛光
• 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
• 自动上下载片
• 两个腔体之间自动传送
• 菜单驱动，4级密码访问保护
• 完整的安全联锁
• 占地面积46”D x 44”W

光学镀膜系统选配项:

• 向下/向上溅射
• 共溅射
• DC，RF以及脉冲电源
• 离子束辅助沉积
• 电子束源
• 等离子源