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光学镀膜设备概述:NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供*进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。
应用:
光学涂层
溅射
离子束辅助沉积
离子束刻蚀清洗
离子束辅助反应刻蚀
红外涂层
表面处理
产品特点:
射频偏压样品台
膜厚监测仪
极限真空5x10-7Torr
高精度及高重复性
高品质膜层
原子级的洁净表面
原子级清洗和抛光
通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
自动上下载片
两个腔体之间自动传送
菜单驱动,4级密码访问保护
完整的安全联锁
占地面积46”D x 44”W
光学镀膜设备选配项:
向下/向上溅射
共溅射
DC,RF以及脉冲电源
离子束辅助沉积
电子束源
等离子源