1    产品简介

传统测量样品反射率的反射光纤探头光斑直径最小仅能达到1-2mm左右，光斑直径限制了样品的大小以及光谱空间分辨率，而若要获得样品更微小的尺度的光谱信息，通常的做法是与显微系统连用。微区反射光谱测量系统即是将光谱分析技术与显微光路结合，可在微米级尺度上采集样品的光谱信息，广泛应用于物理、化学、生物等行业材料光谱性能研究。

图1：微区反射光谱测量系统

本系统采用光纤共焦照明方式，与传统的科勒式照明相比，共焦照明方式可获得更小的采样直径，即具有更高的空间光谱分辨率。如图所示，光源经由光纤接入显微系统，通过显微物镜将光斑大小压缩至微米级别并汇聚在样品平面，样品产生的反射光经由显微系统汇聚在接收光纤端面处，发射光纤端面、接收光纤端面、成像相机平面以及样品平面四面属于共轭关系，从而使得可以实现高精度原位光谱测量。

图2：微区反射测量系统原理示意图

    此外，系统中所用到的微区反射率转接模块中预留一光谱通道，此通道可支持在反射率光谱基础上拓展添加透射率测量、拉曼光谱测量或荧光光谱测量功能，实现多光谱综合测量。

2       规格参数

3       产品特点

l  模块设计：通过在显微镜中加装拓展模块实现光谱测量，同时可在客户现有显微镜基础上定制相应检测模块。

l  共焦设计：光源光路与光谱仪接收光路共轴，*的共焦设计使得测量“所见即所得”，并且系统的杂散光可以得到有效抑制。

l  宽光谱检测范围：搭配如海光电的光纤光谱仪，可实现200~2500nm宽光谱测量。

l  灵活选配与升级：该系统除可实现反射测量外，同时可根据客户需求在此基础上添加特定测量模块从而实现反射+透射+拉曼+荧光多光谱测量。

l  高精度测量：自动移动平台最小步进1μm，可实现微小区域光谱扫描测量。

4       测试实例图