英国Ossila Spin Processor

技术性能

• 可在手套箱和通风厨内使用，基座面积仅为22.5x17cm。
• 无需真空泵、充氮气，节省保养维护费用。
• 创新设计非真空卡盘式吸盘，基材只需放置在卡盘式旋涂托盘适当位置，无需抽真空，就能达到旋涂效果。
• 耐酸碱防腐蚀FEP覆膜操作界面，坚固的不锈钢外壳，钢化的玻璃盖和耐酸碱防腐蚀的衬垫和聚丙烯材质旋涂托盘，使得在各种苛刻条件下仍能保证仪器正常运行。
• 采用液晶显示+按键操作控制界面。智能程序化控制，10个用户自定义协议，每个协议下可设置10个程序，每个程序多50个步骤。
• 内置水平校准装置，大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。
• 电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证运行安全。
• 转速稳定性：<2%。
• 转速：120-6000rpm。
• 定时器：1-1000秒。
• 电源：DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz电源适配器。
• 尺寸：220x170x132mm。
• 左：普通旋涂机上有真空密封环形印迹     右：Ossila非真空式旋涂效果