晟鼎 品牌
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快速退火炉是利用卤素红外灯作为热源,通过极快的升温速率,将材料在极短的时间内从室温加热到300℃-1250℃,从而消除材料内部的一些缺陷,改善产品性能。
全自动双腔半导体退火炉,RTP-DTS-8是一款全自动双腔快速退火设备,可兼容6-8英寸晶圆Wafer。
全自动双腔半导体退火炉产品优势:
全自动双腔设计,有效提升产能;
温度可达1250℃,具有超高温场均匀性;
具备稳定的温度重现性;
能够满足SIC量产化制程需求。
晟鼎是一家集研发与设计、生产、销售及产业链服务为一体的企业。致力于提供表面性能处理及检测整体解决方案。