美国mks  G 系列质量流量计

GM50A 和 GM51A 是通用的金属密封质量流量计 （MFM），非常适合需要从 5 sccm 到 50 slm 满量程、相当于 N2 的流量计量的各种应用。这些仪表集成了最新的数字流量计电子元件以及经过充分验证的热传感器和机械设计。

GM50A 宽 1.45 英寸。

GM51A 宽 1.25 英寸。

嵌入式用户界面可轻松更改范围和气体，减少所需的库存

现场监控和收集设备数据

16 微英寸 316L 表面光洁度，适用于高纯度应用

多种数字或模拟 I/O 选择

多气体/多量程能力

多气体/多量程功能，以及严格的精度性能规格，使用户能够最大限度地减少高流量MFM零件编号的库存。多气体/多量程功能（以及其他自定义控制）可通过MFM嵌入式诊断接口访问，无需特殊的软件或硬件即可操作。标准以太网电缆和支持 JAVA 的 HTML 浏览器（广泛可用）是所需的所有工具。典型高流量气体的关键气体参数已经存储在设备上。配置设备只需从下拉菜单中选择气体所需的满量程流量范围即可。诊断界面还允许用户执行常规设备运行状况检查、绘制流程并存储操作数据以进行离线分析。

GM100A 是一款通用的金属密封质量流量计 （MFM），GM100A-MFM非常适合需要从 100 sccm 到 100 slm 满量程、N2 等效流量计量的各种应用。GM100A 仪表

集成了最新的数字流量计电子元件以及久经考验的热传感器和机械设计。

嵌入式用户界面允许更改原位范围和气体以及数据收集

表面处理使MFM可用于高纯度应用

多种数字或模拟 I/O 选择

美国mks  G 系列质量流量计

GE250A是一种通用的弹性体密封MFM，GE250A-MFM具有从250 sccm到250 slm满量程，相当于N2的流量测量能力。GE250A结合了最新的数字流量控制电子设备以及经过充分验证的热传感器和机械设计。此 MFM 提供模拟或数字 I/O。数字控制电子元件采用最新的MKS控制算法，提供准确且可重复的流量测量。

嵌入式用户界面允许更改原位范围和气体以及数据收集

表面处理使MFM可用于高纯度应用

多种数字或模拟 I/O 选择

GE300A是一种通用的弹性体密封MFM，GE300A-MFM非常适合需要从300 sccm到300 slm满量程，相当于N2的流量测量能力的各种应用。GE300A结合了最新的数字流量控制电子设备以及经过验证的热传感器和机械设计。此 MFM 提供模拟或数字 I/O。数字控制电子元件采用最新的 MKS 控制算法，提供准确且可重复的流量测量。

嵌入式用户界面允许更改原位范围和气体以及数据收集

表面处理使MFM可用于高纯度应用

多种数字或模拟 I/O 选择