美国mks  C 系列紧凑型超快质量流量控制器

CMA10B 质量流量控制器 （MFC） 是一种紧凑、快速响应的型号，使用基于微机电系统 （MEMS） 的流量传感器，适用于非腐蚀性气体应用。该设备的满量程流量从 15 到 14000 sccm、N2，控制范围从满量程的 0.1% 到 100% 满量程，也可用作流量计。提供模拟（0 至 5 VDC）或数字（RS485、PROFINET® 或 Modbus TCP/IP）通信接口。所需的电源电压标称值为 24 VDC。

<100毫秒的超快响应时间

控制范围为满量程的 0.1% 至 100%

精度为设定点的 ±0.8%

最小的零点和量程漂移确保长期可重复性

表面贴装接口可用于紧凑型气体面板设计

用于设置和诊断的嵌入式 Web 浏览器

C 系列概述，CMA10B-MFC

CMA10B 紧凑型设计只有 1 英寸（25.4 毫米），高度不到 4.4 英寸（111.8 毫米）。它的标准长度为 4.88 英寸（124 毫米），适用于 4 个 VCR® 公头，4.54 英寸（113 毫米）用于 0.25 英寸压缩密封气体管路连接。还提供下装版本。低热质量MEMS传感器以低噪声输出提供流量变化的快速感应。传感器的固态设计使其能够抵抗水凝结、颗粒、压力冲击和振动。

快速响应、宽动态控制范围和设定点精度的 0.8% 使该 MFC 成为使用非腐蚀性气体的关键工艺应用中流量控制的选择。典型用途包括质谱、真空镀膜、生物反应器以及许多其他应用。CMA10B 通过 MFC 的流量信号处理和控制算法将快速动作电磁控制阀与流量传感器耦合。这导致到设定点的响应时间小于 100 毫秒。

美国mks  C 系列紧凑型超快质量流量控制器

C 系列 CMA50A 质量流量控制器 （MFC） 是一款紧凑、快速响应的型号，使用基于微机电系统 （MEMS） 的流量传感器，适用于非腐蚀性气体应用。该设备的满量程流速从 14000 sccm 到 50000 sccm、N2，控制范围从满量程的 0.1% 到 100% 满量程，也可用作流量计。提供模拟（0 至 5 VDC）或数字（RS485、PROFINET® 或 Modbus TCP/IP）通信接口。所需的电源电压标称值为 24 VDC。

<100毫秒的超快响应时间

控制范围为满量程的 0.1% 至 100%

精度为设定点的 ±0.8%

最小的零点和量程漂移确保长期可重复性

表面贴装接口可用于紧凑型气体面板设计

用于设置和诊断的嵌入式 Web 浏览器

CMA50A-MFC

CMA50A 紧凑型设计只有 1 英寸（25.4 毫米），高度不到 4.4 英寸（111.8 毫米）。它的标准长度为 4.88 英寸（124 毫米），适用于 4 个 VCR® 公头，4.54 英寸（113 毫米）用于 0.25 英寸压缩密封气体管路连接。还提供下装版本。低热质量MEMS传感器以低噪声输出提供流量变化的快速感应。传感器的固态设计使其能够抵抗水凝结、颗粒、压力冲击和振动。

快速响应、宽动态控制范围和设定点精度的 0.8% 使该 MFC 成为使用非腐蚀性气体的关键工艺应用中流量控制的选择。典型用途包括质谱、真空镀膜、生物反应器以及许多其他应用。CMA50A 包含一个快速动作电磁控制阀，通过 MFC 的流量信号处理和控制算法与流量传感器耦合。这导致到设定点的响应时间小于 100 毫秒。