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ContourX-500 3D光学轮廓仪
用于3D计量的全自动台式
ContourX-500光学轮廓仪是用于快速,非接触式3D表面度量的世界上全面的自动化台式系统。该系统集成了布鲁克专有的倾斜/倾斜光学头,可以*编程,以在一定角度范围内测量表面特征,同时大程度地减少跟踪误差。具有测量功能的ContourX-500具有的Z轴分辨率和精度,并在更小的占地面积下提供了布鲁克白光干涉仪(WLI)落地式机型的所有业界*的优势。利用业界先进的用户界面,ContourX-500可以直观地访问广泛的预编程过滤器和分析库。借助其新的USI通用扫描模式,可以轻松地针对广泛的复杂应用定制分析器,从精密加工表面和半导体工艺的QA / QC计量学到眼科和MEMS器件的R&D表征。
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ContourX-500 3D光学轮廓仪
轮廓GT-K
先进的自动化
布鲁克专有的头部倾斜/倾斜为生产设置和检查提供了的用户灵活性。通过将自动倾斜/倾斜功能与显微镜头中的光路相结合,布鲁克将检测点与视线相结合,而与倾斜无关。这样可以减少操作员的干预,提供大的可重复性。此功能与自动登台和物镜相结合,使ContourX-500非常适合“按需测量”的工业需求,而且占地面积小。
轮廓X-500
传统的俯仰和滚动舞台设计需要操作员进行调整
五个运动轴以保持在线的检查点
视线进行测量。头部*的布鲁克提示/倾斜
设计在检查点上保持了视线-
不论倾斜度如何-都能优化图像采集和
快的数据记录时间。
轮廓X-500
WLI为所有目标提供恒定且终的垂直分辨率。
的价值和分析
ContourX-500具有成千上万的自定义分析功能以及布鲁克简单易用但功能强大的VisionXpress™和Vision64®用户界面,为实验室和工厂车间的生产率进行了优化。这种*的硬件和软件组合提供了对高可重复性和高通量计量学测量的简化访问,从而超过了同类计量能力。