探针式表面轮廓仪

布鲁克探针式表面轮廓仪（又称“台阶仪”）历今四十载，积累大量专有技术。从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量，到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试，Dektak台阶仪适用面极广，为用户提供准确性高，重复性佳的测量结果。

在教育、科研领域和半导体制程控制，Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。近几年，Dektak系统已经成为发展的太阳能电池市场越的测试工具，也被许多主要的光伏太阳能电池制造商所认可。

DektakXT

桌面型探针式表面轮廓仪

布鲁克DektakXT®台阶仪设计创新，实现了更高的重复性和分辨率，垂直高度重复性高达4埃。这项测量性能的提高，达到了过去四十年Dektak®体系技术创新的，更加稳固了其行业中的地位。不论应用于研发还是产品测量，在研究工作中的广泛使用是的DektakXT地功能更强大，操作更简便易行，检测过程和数据采集也更加完善。技术的突破也实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

探针式轮廓仪的黄金标准

DektakXT®探针式轮廓仪革命性的突破设计创新，实现了垂直高度重复性高达4埃，数据采集能力提高了40%。这一里程碑的创新和突破，使得DektakXT实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

技术创新四十余载，不断突破用攀高峰

Dektak品牌是*基于微处理器控制的轮廓仪，*实现微米测量的台阶仪，*可以达到3D测量的仪器，*个人电脑控制的轮廓仪，*全自动300mm台阶仪。现在，全新的DektakXT延续了这种开创性的风格，成为一台采用具有具有单拱龙门式设计，配备HD摄像机，并且利用64位同步数据处理模式完成测量和操作效率的台阶仪。

提高测量和数据分析速度

*采用*高速的直接驱动扫描样品台，DektakXT在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下，大大缩短了每次扫描的间隔时间，将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用布鲁克具有64位数据采集同步分析的Vision64，可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。

提高操作的可重复性

使用单拱龙门结构设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。DektakXT会把系统和环境噪音引起的测量误差降到，能够更稳定可靠的扫描高度小于10nm的台阶，获得其形貌特征。

完善的数据采集和分析系统

与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是布鲁克Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上简洁的用户界面，具备智能板块，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。

简便易行的实验操作系统

DektakXT新颖的探针的部件自动对准装置，可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。为尽可能满足所有应用的需求，布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针。

高效率的保证

DektakXT的测量重复性为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以调节刻蚀和镀膜工艺来提高产品的优良率。

DektakXT仪器特性

的性能和优于4埃（<4 Å）的测量重复性

· 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性

· 先进的”智能化电子器件”实现了低噪声的新*

高效率且易于使用

· 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程

· *的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量

· 自对准的探针设计使用户可以轻而易举地更换探针