高温退火炉系统
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Centrotherm Activator150高温退火炉系统

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-09-25 16:11:06
1103
属性:
产地类别:进口;应用领域:石油,能源,电子;
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产品属性
产地类别
进口
应用领域
石油,能源,电子
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北京亚科晨旭科技有限公司

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产品简介

Centrotherm Activator 150 高温炉设计用于SiC或GaN器件注入后退火。Centrotherm*工艺炉管和加热系统设,允许工艺温度达到 1850 ℃。此外,Activator 150 系列的产品可以实现生长石墨烯生长。通过碳化硅升华生长石墨层可以获得高性能器件。

详细介绍

Centrotherm 高温退火炉系统-Activator 150

一、产品简介

Centrotherm Activator 150 高温炉设计用于SiCGaN器件注入后退火。Centrotherm*工艺炉管和加热系统设,允许工艺温度达到 1850 ℃

此外,Activator 150 系列的产品可以实现生长石墨烯生长。通过碳化硅升华生长石墨层可以获得高性能器件。

Centrotherm 新一代SiC工艺炉管的研发用以满足新兴的150 毫米 SiC工艺。

Centrotherm Activator 150-5 是为研发工作而特制的,而Centrotherm Activator 150-50专为大批量生产设计。

广泛的工艺范围实现了对自定义化程序的优化, 例如温度, 气路系统和压力。

 

二、典型应用

SiC器件高温退火 (注入后)

GaN器件退火

大面积石墨烯生长

SiC表面制备

 

三、产品特性

性能和优势

高活化

小表面粗糙度

最大温度可达 1850 ℃ 

 

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