Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150
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Centrotherm RTP 150Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150

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具体成交价以合同协议为准
2021-09-03 13:51:15
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产地类别:进口;应用领域:电子;
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北京亚科晨旭科技有限公司

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产品简介

德国Centrotherm公司是半导体设备供应商,尤其在高温设备领域。Centrotherm RTP 150是一款快速热工艺设备,主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。

详细介绍

Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150

一、产品简介

德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商,尤其在高温设备领域。Centrotherm RTP 150是一款高性能快速热工艺设备,主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。

 

RTP 150型快速热反应设备,采用紧凑型的真空腔室设计满足多种工艺需要,是一款可用于生产和研发用的单晶圆工艺设备。

RTP 150型设备包括一个带集成压力学习控制压力范围在1mbar至50mbar的真空腔室。采用灯管加热系统提供了可调节的加热均匀性控制,采用了CENTROTHERM公司技术的温度控制系统。

RTP系统可用于6寸晶圆和5寸石墨基板的加热。可在15分钟内更换基板的尺寸和类型。

设备用于高性能、小占地面积、低成本高工艺灵活性的工艺场合。

 

设备特点:

压力可控的真空或大气环境下工作

高灵活性:最大6寸硅片或其他材料

温度范围:20℃~1150℃

*加热的工艺温度可达 750℃

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