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奥泰Metcal(OK)CVC/STTC 烙铁头
面议奥泰Metcal(OK)MX 拆焊手柄
面议奥泰Metcal(OK)MX 系列焊接手柄
面议奥泰Metcal(OK)CV拆焊手柄
面议奥泰Metcal(OK)CV手柄和套件
面议奥泰Metcal(OK)-MFR-1350 拆焊和返修系统
面议奥泰Metcal(OK)BVX-200烟雾净化器
面议奥泰Metcal(OK)BVX-100 烟雾净化器
面议奥泰Metcal(OK)PS-900 焊台
面议奥泰Metcal(OK)MFR-1300 拆焊和返修焊台
面议奥泰Metcal(OK)MFR-1150 拆焊焊台
面议奥泰Metcal(OK)MFR-1100 系列焊台
面议Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150
德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商,尤其在高温设备领域。Centrotherm RTP 150是一款高性能快速热工艺设备,主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。
RTP 150型快速热反应设备,采用紧凑型的真空腔室设计满足多种工艺需要,是一款可用于生产和研发用的单晶圆工艺设备。
RTP 150型设备包括一个带集成压力学习控制压力范围在1mbar至50mbar的真空腔室。采用灯管加热系统提供了可调节的加热均匀性控制,采用了CENTROTHERM公司技术的温度控制系统。
RTP系统可用于6寸晶圆和5寸石墨基板的加热。可在15分钟内更换基板的尺寸和类型。
设备用于高性能、小占地面积、低成本高工艺灵活性的工艺场合。
设备特点:
压力可控的真空或大气环境下工作
高灵活性:最大6寸硅片或其他材料
温度范围:20℃~1150℃
*加热的工艺温度可达 750℃