TMC STACIS IIIc 紧凑型有源压电 主动隔振

STACIS IIIc 是我们STACIS III 有源压电振动消除系统的紧凑型版本。它以较低的高度提供同样出色的隔振性能。

STACIS IIIc 非常适合没有活动地板或活动地板非常低的情况，在这种情况下，标准 STACIS III 系统的高度会使仪器过高。

STACIS IIIc 配置中，高度小于常规 STACIS III 高度的 60%。在具有 3 个以上隔离器的系统中，高度将在 60% 到 70% 之间，具体取决于有效载荷设置。

STACIS IIIc 的优势-

与性能没有降低的常规 STACIS III 系统相比，隔离器高度最多可减少 42% 。

STACIS 的硬度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬架，而且与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过全面优化。

du特的串行设计和专有的高压压电技术

可实现从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽活动带宽和wu与lun比的真正主动隔振，从 2 Hz 开始可减少 90% 的振动。

TMC STACIS IIIc 紧凑型有源压电 主动隔振

性能规格