VMB气体阀门分配箱是一种内嵌多支分发管与排气管,实现高纯气体或或者液体分流的阀门箱。它能让气体从单一来源被分配到多点应用 ,而且对于每个使用点, 气压还可被单独地调控, 从而满足个别应用需求,是一种高精度的气体设备。
VMB有手动分配箱和半(全)自动分配箱,两者之间的区别在于是否通过PLC面板控制和系统功能的多少。
VMB是被设计且制造成为单一气体使用,不能让两种气体共同使用。专为腐蚀性、毒性等危险性气体供应,既然专为危险性气体设计,那拆卸的时候岂不是很危险?当然不是,我们的VMB是具有循环清洁功能和真空抽气功能的。能够在无危险气体泄漏的情况下安全地拆卸 VMB 的每一部分,不仅如此,它还能在不影响其它应用点的气体供应下, 单独清洗某一气体分发管或者对其进行真空抽气。
VMB气体阀门分配箱半自动分配箱的功能和拆分:
一、 阀门箱VMB(Valve Manifold Box)硬件配置
1. 人机界面:作为人与控制器的控制与沟通界面。
一方面可显示系统目前的状况,同时亦可接受操作人员下达的指令,作为系统运作的确认。
2. PLC:整体控制的处理中心。
3. 电磁阀:控制气动阀的开闭。
(电磁阀为可拨式Type,可依需求强制开启电磁阀)
4.遮断按钮:系统发生异常时按此钮关闭盘面气动阀。
5. LED指示灯:以亮灯表示系统目前的状态。
系统正常:(Normal)
存量不足:(Low Quantity)
异常报警:(Shutdown)Or (Warning)
6. 紫/红外线火焰感知器:当感测到火灾发生时作动,将讯息传至PLC处理。
7. 差压设定开关:当箱体与大气压之差压未达设定值动作,将讯息传至PLC处理。
8. 差压计:显示箱体与大气压之差压。
9. 继电器:依电路设计可作为控制或接点之输出。
10. 电源供应器:因控制回路所使用之电源为DC 24V,故需Power Supply转换。
11. 温度开关:当感测到箱体温度高于设定值时,将讯息传至PLC处理。
12. I.A过流量开关:当驱动气动阀之软管松脱或爆裂导致流量过大,将输出讯号告知。
二、 阀门箱VMB(Valve Manifold Box)安全功能介绍
1. 紧急停止按钮:按下紧急停止按钮即可关断所有的气动阀。
2. 远程紧急停止控制:当远程紧急停止动作驱动则即可关断所有的气动阀。
3. I.A压力开关:当气动阀驱动压力不足时则会输出警报告知。设定为 0.4 ~ 0.63 Mpa
4. 过温开关:当侦测到箱体环境温度高于设定值时则会输出警报告知并且自动关闭所有阀件。设定温度为70℃
5. 紫/红外线火焰感知器:当感测到火灾发生时作动,则会输出警报告知并且自动关闭所有阀件。
6. 过流量开关:当管路内的流量过大导致驱动过流量开关(EFS),则会输出警报告知并且自动关闭该使用侧的阀件。
7. 压差开关:当箱体内的压差过小的状态下,则会输出警报告知。设定压差为50 Pa以上。当压差不足,当气体外泄时时易发生气体扩散出箱体,故开启箱体门前敬请注意箱体与大气的压差是否足够。
VMB气体阀门分配箱,因其设计初衷和适用气体,被广泛用于Semiconductor、TFT、SunSolar、LED,研究所,高校实验室等行业。比如:目前,因制程越来越先进,大流量特气供气的需求越来越多,产生了BSGS的系统,而为达到供应的稳定,一台会分配到多台VMB。
气体分配箱VMB和特气柜在特气系统中起着至关重要的作用。VMB负责将气体从气体源输送到使用点,而特气柜负责存储和管理气体瓶,保障气体的安全使用和储存。这两种设备的作用和功能互补,相互协作,确保特气系统的正常运行。
在特气系统中,气体分配箱VMB和特气柜通常通过控制系统进行协调。控制系统可以通过监测气体流量和压力来调节气体分配箱VMB的阀门,确保气体被正确地输送到需要的地方。控制系统还可以监测特气柜的气体瓶存量和安全状态,以确保气体瓶的安全使用和储存。