电子特气管道系统，简称特气系统由存储、输送、分配、控制四类组成，其中“存储”是指气源部分（特气柜GC），“输送”指配管方面（一般用双套管），“分配”指二次配部分（气体分配柜VMB），“控制”指监督控制部分（气体管理系统GMS）。是一种广泛应用于半导体、集成电路、光纤、太阳能电池等微电子行业的气路系统。

全自动GC（特气柜）按功能设计可分为单钢瓶、双钢瓶、三钢瓶。

单钢的设计通常使用于研究机构或实验室等。工艺制程尚未有量产，气体使用量小，现场可随时协调停机进行钢瓶之更换，其优点节省空间、成本低、但需透过日常之管理与协调以免中断工艺制程造成损失。

双钢与三钢常用于量产工厂，工艺制程不允许停机情况，当一支钢瓶使用完后，另一支备用钢瓶会自动转为供气，此两种形式最大的差别是在吹扫管路的高纯氮气是以钢瓶或厂务端供应，当吹扫用的高纯氮气统一由厂务端来供应时，所有特殊气体供应系统不管是否相容，全部连接到同一个供应源，会有较高的风险值；万一中央供应系统的高纯氮气中断，警报系统又损坏，恰巧两种不相容的气体同时使用吹扫，此时极有可能发生爆炸的事件发生，相同性质可使用同一瓶钢瓶来吹扫增加的成本及空间非常有限，是一种非常好的应变方式。

气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶内置吹扫气源等多种结构配置；不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中；气瓶柜、气瓶架应设置作业用气体面板；系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实；气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/h;自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器；气瓶柜柜体 外壳钢板厚度不应小于2.5mm， 并应有防腐蚀涂层；气瓶柜门应具备自动关闭功能， 并应配备防爆玻璃观察窗；气瓶柜的固定螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求；气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标识牌；当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时，其设计应符合现行国家标准《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。

是专为腐性，毒性等危险性气体供应而设计的供应系统，主材选用SS316L，基本功能包括自动吹扫，自动切换，以及自动切断（当设定报警信号被触发时）。在制造业的范畴内，特别是涉及到半导体与高精度化学制品的领域，特种气体（特气）扮演着至关重要的基础材料角色。确保这些气体稳定、安全地供给到生产线，是维持高效生产的关键。特气管道工程是一种危险性很高的工程，是保证有着易燃易爆、腐蚀、剧毒等性质的特种气体的安全稳定输送的气体供应系统，所以，为了用气安全，在安装特气系统时，要严格遵守其中的一些规定标准。