电子无尘室/洁净室检测

电子无尘室/洁净室检测项目和标准

检测方法 

1.风量或风速

1）对于单向流洁净室,应采用截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量,并应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面作为测试平面。应将测试平面分成相等的栅格,每个栅格尺寸应为600mm×600mm或末端空气过滤器尺寸,测点应在栅格中或不应少于3点。每一点的测试时间不应少于10s。应记录平均值、大值和小值,并应以算术平均值作为平均风速。

2）对于非单向流洁净室,每一点的测试时间不应少于10s。

3）在每个末端空气过滤器或散流器处,应采用风口法、风管法、风罩法等测量送风风速确定送风量,每个测试位置的测点数不应少于3点。 

2.静压差

1）静压差的测定应在所有的门关闭时进行。

2）仪器宜采用各种型式的微压计,仪表灵敏度应小于1.0Pa。

3）洁净厂房有多个洁净室(区)时,应从里面的房间与相邻房间的压差测试开始,并应按顺序向外进行检测。

3.高效过滤器检漏

1）仪器应使用采样量大于1l/min的光学粒子计数器。

2）应在过滤器上风侧引入大于等于0.1m(0.5gm)粒子,粒子浓度应大于3.5×10P/m3的大气尘或其他气溶胶;在过滤器下风侧应用粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面20~30mm处,并应以5~20mm/s速度移动。应检测包括过滤器的整个面和过滤器周边、过滤器框架及其密封处的扫描。 

4.悬浮粒子数-尘埃粒子计数器

1）应使用采样量大于1l/min光学粒子计数器,应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。

2）少采样点应按下式计算:

NL=A0.5

式中NL---------少采样点

A-----------洁净室或被控洁净区的面积(m2)。

采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内,并应位于工作区的高度。

3）每一采样点的每次采样量应按下式确定:

Vs=（20/Cn，m）x100

式中Vs------每个采样点的每次采样量,以l表示,当V很大时,可使用顺序采样法。每个采样点的小采样时间为1min,采样量应至少为2l

Cn.m------被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(p/m3);

20------在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时,可测到的粒子颗数(颗)。

4）当洁净室(区)仅有一个采样点时,则在该点应至少采样3次

5.气流流型

◆气流流型的检测,宜采用气流目测法。

◆气流目测法有示踪线法、示踪剂注入法,并应用图像处理技术记录和处理。示踪线法所用纤维或示踪剂的微粒都不应成为洁净室(区)的一种污染源。

◆示踪线法应为通过观察放置在测试杆末端或气流中细钢丝格栅上的丝线或单根尼龙纤维等,直接目测得到气流方向或因干扰引起的波动。

◆示踪剂注入法,可采用纯水喷雾或化学法生成的乙醇/正二醇等示踪剂粒子的特性,在高强度光源下进行观察或做成图像。

◆应采用图像处理技术进行气流目测,本法一般是与示踪结合,将在摄像机或膜上的粒子图像等经技术处理得到气流特性。

◆气流目测的测点位置、仪器等,应根据洁净室(区)的具条件洽商确定。   

6.温度、相对湿度

1）温度、相对湿度的检测应在洁净室(区)内气流分布均匀状态测试,并应在净化空调系统试运转合格后安排进行。温度、相对湿度检测应在净化空调系统已经运转,并应至少稳定运行1.0h后运行。

2）相对湿度检测应将洁净工作区划分为等面积网格,每格大面积应为100m2,应每格一个测点,但每个房间不应少于2个测点。

3）检测用探测器应设在洁净室(区)内的工作高度,且距洁净室(区)的吊顶、墙和地面不应少于300mm。并应考量洁净室(区)内可能存在的热源的影响。

4）检测时间应至少1.0h,并应至少6min进行1次(30s)读数,记录。

7.噪声

1）洁净室(区)内的噪声检测应采用带倍频程分析的声级计。

2）洁净室(区)内的噪声检测点应根据电子产品生产工艺要求确定。噪声检测点宜距地面1.1~1.5m,距墙应大于3m;检测点的布置宜按洁净室(区)面积均分,宜每100m2设一检测点   

8.照度

1）洁净室(区)内照度检测宜采用便携式自动记录照度计。

2）照度检测应在室内温度稳定、光源光输出稳定后进行。洁净室(区)照度检测不应包括生产设备等的局部照明和备用照明。

3）照度检测点应设在工作高度,宜距地面0.85m,应每25m2设一个测点。

9.自净时间

1）自净时间检测,宜用于非单向流洁净室。

2）自净时间的检测,宜采用大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准,并宜以粒子计数器进行检测,同时应符合下列要求:

◆以大气尘为基准时,则必须将洁净室停止运行相当时间在室内含尘浓度已接近于大气浓度时,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N0)。然后开机,定时读数(一般可设置每间隔6s读数一次),直到回风口处的含尘浓度回复到原来的稳定状态,记录下所需的时间(t)。

◆以人工尘源为基准时,应将烟雾发生器放置在离地面1.8m以上室中心,发烟1~2min后停止,等待1min,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,方法同上。

◆由初始浓度(N)、室内达到稳定的浓度(N)、实际换气次数(n),可得到计算自净时间(t0),与实测自净时间(t)进行对比如果t≤1.2t0,为合格。

◆自净时间检测方法除上述方法外,还有微粒浓度变化率评估法等。自净时间检测方法应洽商确定。

10.密闭性检测

1）密闭性检测或称抑制渗漏测试,是测定洁净室(区)有无受污染的空气从周围具有相同或不相同静压的较低洁净度等级的洁净室(区)或非洁净室(区)侵入。本检测一般用于ISO1~5级洁净室(区)。

2）采用粒子计数器法检测洁净室(区)的密闭性,检测时应先测量紧靠被测围护结构表面外部的悬浮粒子浓度,一般此浓度应比洁净室(区)内浓度大104,并大于等于3.5×106个/m3待测粒径的粒子。

3）洁净室(区)的施工接缝,包括对墙板、吊顶的接缝和管线、灯具等的接缝的渗漏检测，应在被测部位的50~100mm处扫描,其扫描速度为50mm/s。

洁净室敞开门处的渗漏检测,应在距离门0.3~3.0m处测定洁净室内的悬浮粒子浓度。记录并报告比测得的外部相同粒径粒子浓度大于10-3倍的读数和位置。

11.悬浮微生物的采样

1）采用无源采样装置,如培养皿。采用有源采样装置,如撞击采样器、离心采样器、过滤采样器。

2）空气洁净环境中悬浮微生物的静态或空态检测前,应对各类表面进行擦拭消毒,但不得对室内空气进行熏蒸、喷洒之类的消毒。动态检测均不得对表面和空气进行消毒。层包装保护培养皿,以防污染。当洁净度很高，或预期含菌浓度可能很低时，采样量应大于小采样量很多，以满足减少计数误差的要求。