1.ZSI：剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像。

2.ZFT：使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率。

3.AOI：自动光学检测，并对样品上的缺陷进行量化。

4.ZXI：白光干涉测量技术，适用于z向分辨率高的广域测量。

5.ZDot：同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像。

6.ZIC：干涉对比度，适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据。

7.生产能力：通过测序和图案识别实现全自动测量。

8.光学轮廓仪可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜。

9.采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光学器件的简单易用的光学轮廓仪，具有广泛的应用。

10.晶圆传送机械臂: 自动加载直径为50mm至200mm的不透明（如硅）和透明（如蓝宝石）样品。