台阶仪相关知识科普

优尼康微课堂：什么是台阶仪？

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器，也叫探针式表面轮廓仪。台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好,被广泛应用在各行各业。

测量原理：

当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。

台阶仪性能优劣取决于以下三个方面：

测试重复性、测试速度以及操作难易程度。这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。

在这以我们优尼康提供的一款KLA台阶仪为例，简单介绍下，

型号：P-17

支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。

P-17是第八代台式探针轮廓仪，是40多年的表面量测经验的结晶。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备的测量稳定性。 通过式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。

P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。