Harrick Plasma 高功率扩展型等离子清洗机
与扩展型一样具有双倍的清洗速率,高功率扩展型等离子清洗机是一款多功能的工具,适用于刻蚀有机薄膜(10--100nm)以及表面活化改性。
Harrick PDC-HP高功率扩展型等离子清洗机
PDC-001-HP (115V); PDC-002-HP (230V)
主要特点:
紧凑台式设备、没有RF放射、符合CE安全标准。
功率为低、中、高三档可调。
低档功率相当于PDC-2 扩展型等离子清洗机的高档功率设置
清洗腔:长6.5英寸,直径6英寸的耐热玻璃腔体 , 腔盖可拆卸
带有视窗的铰链门
自动风扇冷却
集成真空泵开关
1/8NPT针孔阀控制气流及腔体压力;
整机尺寸:11英寸H × 18英寸W × 9英寸D;
重量:37 lbs;
选配件
石英等离子清洗腔;
气体流量混合器;
真空泵;
参考客户:
兰州大学 郑州大学 上海交通大学 上海复旦大学 合肥工业大学 成都电子科技大学 北京大学 清华大学医工所 兰州化物所 中科院纳米所 等等
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