NMC-4000PAMOCVD等离子辅助MOCVD

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2017-03-03 14:32:36
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德国韦氏纳米系统(香港)有限公司

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产品简介

NMC-4000PAMOCVD等离子辅助MOCVD:针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、 250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制,*的安全

详细介绍

NMC-4000PAMOCVD等离子辅助MOCVD

NMC-4000PAMOCVD等离子辅助MOCVD概述:

    针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有加热的气体管路、5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、950度样品台三个气体环、PC全自动控制、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、 250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空),*的安全互锁。

    目前,NANO-MASTER(那诺-马斯特)的这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。

NMC-4000PAMOCVD等离子辅助MOCVD型号:

NMC-4000PAMOCVD等离子辅助MOCVD

 

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