旋风等离子清洗机
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旋风等离子清洗机

Tergeo旋风等离子清洗机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2019-03-04 13:33:48
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德国韦氏纳米系统(香港)有限公司

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产品简介

PIE 代表 Plasma ,Ion ,Electron
PIE 专业致力于等离子刻蚀,清洗,表面处理和离子,电子束产品的应用。
PIE INC 成立于等离子研究小组在劳伦斯伯克利国家实验室。经过15年在硅谷研究经验,我们的SmartClean™ *进的技术已经被世界上著名大学,研究所,实验室使用。

详细介绍

Tergeo plasma cleaners 旋风等离子清洗机

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

特    征:  

Direct & downstream 清洗模式

典型的应用:  

 

PDMS/玻璃键合的应用笔记

 

Recipe :

PDMS bonding: RF power 15Watt

RF pulse duty ratio: 10% to 20%Gas: Room air

Flow rate: 5sccm

Time: 30~60 seconds

TIM图片20190227152555.jpg

 

Figure 1  经过等离子体处理后,PDMS立即与玻璃结合,界面截留的气体被自动挤出,无需在烤箱里固化PDMS/玻璃胶几个小时。

 

Figure 2,粘合一分钟后,用户试图测试PDMS/玻璃粘合度,由于粘合非常牢固,即使由于强大的拉力部分PDMS被撕掉之后,PDMS/玻璃粘合界面仍然完好无损。

 

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