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美国NXQ以的性能,经济的价格,深受用户喜爱,截至2016年底,超过5000台NXQ曝光系统遍布*科研实验室,研发中心。
NXQ4000系列半自动掩膜对准曝光系统,融合了独立的模块化设计,精准控制对准和曝光等特点,自动程序控制使得该系统易于操作存储和使用,适合实验室多用户使用。
该系统特点:
锲型误差补偿系统----*的WEC设计
紫外灯源的多样性选择
曝光光路的精准控制
视像分辨技术------在Video View Microscope 和Quadcam Microscope中快速切换
高效对准控制-----可选配IR或OBS双面对准
使用领域(包括但不限于下述领域的光刻工艺)