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二手高分辨率场发射电镜技术特点:
1. 优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
二手高分辨率场发射电镜详细介绍
高分辨冷场发射扫描电子显微镜 日立扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计,却能达到超高分辨率,可以与内透镜UHR扫描电镜相媲美。
特点:
1. 新型物镜采用设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯 二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1KV低加速电压时保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可选:I型50mm x 50mm小样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。
4. 包括涡轮分子泵在内的*进的真空系统。
5. 便于用户使用的、基于图形用户界面的控制系统,包含多种自动功能,
操作简易性能指标: 二次电子分辨率 1.0nm (15kV) 2.0nm (1 kV) 1.4nm (1 kV,减速模式)
电子枪 冷场发射电子源
加速电压 0.5~30kV(0.1KV/步,可变)
放大倍率 x 20~ x 800,000
物镜光阑 4孔,真空外选择和调校(内置加热器)
检测器 二次电子检测器 (高位/低位) 背散射电子检测器(可选) EDX(可选) 透射电子检测器(可选) 法拉第杯(可选)
样品台 l型: X: 0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5°~70°R:360°
驱动:手动(可选3轴/5轴马达驱动) ll型: X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm Z: 1.5 ~40 mm T: -5°~ 70° R: 360°驱动: 5轴马达驱动
操作/显示 操作系统: WindowsTM XP
图像储存 640 x 480, 1,280 x 960, 2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
离子泵 3 台 涡轮分子泵(磁浮型) 1 台 机械泵 1 台
场发射扫描电子显微镜的案例分析
实例一:客户要求对LED荧光填充物进行成分分析
实例二:客户需对碳纳米管和石墨烯进行SEM形貌观察