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二手日立+日本电子扫描电镜主要特长
优秀电子光学系统
JSM-IT200A是株式会社最新升级版机型,集合了分析扫描电镜精髓功能,结构紧凑、节省空间,分辨率高。
操作舒适快捷
JSM-IT200A拥有非常直观的操作系统,即使没有经验的用户也可进行操作高品质的SEM图像,以及高效率元素分析。可支持操作触摸屏。
安装的灵活性
节省空间,安装方便。一个电源插座就足以安装。不需要任何冷却水。
二手日立+日本电子扫描电镜中用来产生图像的信号源于电子束与样品中不同深度的原子相互作用。因此而产生各种类型的信号包括二次电子(Secondary electron, SE)、反射或背散射电子(Back-scattered electron, BSE)、特征X射线和光线(阴极射线发光)(CL)、吸收电流(样品电流)和透射电子。 二次电子探测器是所有扫描电镜的标配。
在二次电子成像(Secondary electron imaging, SEI)中,二次电子是从样品表层发射的。因此,SEI可以产生超高分辨率的样品表面图像并显示尺寸小于1纳米的细节。背散射电子(BSE)是通过弹性散射从样品反射的成束电子。它们的发射位置在样品更深处,因此BSE图像的分辨率低于SE。然而,BSE与从特征性X射线获得的光谱通常用于分析型SEM,因为BSE信号的强度与样品的原子序数(Z)密切相关。BSE图像可以提供样本中不同元素的分布信息,但不能提供结构信息。 在主要由轻元素组成的样本中,例如生物样本,BSE成像可以对直径为5-10 nm的胶态金免疫标记成像,而这很难或不可能利用二次电子成像检测到。 当电子束从样品中激发出内壳层电子时,样品会发射出特征X射线,这是因为高能电子充满壳层并释放能量。这些特征X射线的能量或波长可以通过能谱仪Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDX)或波谱仪(Wavelength-dispersive X-ray spectroscopy)测量,并可用于识别和测量样品中的元素丰度进而绘制元素分布图。
由于样品台的限制,SEM样品必须足够小,同时可能需要特殊的预处理来增加样品的电导率和稳定性,以便样品能够承受高真空条件和高能电子束的轰击。通常使用导电胶将样品牢固地安装在样品台或短柱上。SEM被广泛用于半导体晶片的缺陷分析,制造商制造出可以检查尺寸为300 mm的半导体晶片的任何部位的仪器。许多仪器都有着可以将该尺寸的物体倾斜45°并提供连续360°旋转的腔室。