X射线荧光镀层厚度测量仪规格参数：
FT9500产品规格
可测量元素：原子序数13(Al)～83(Bi)
X射线聚光：聚光方式
X射线源：管电压：50kV 

                管电流：1mA
检测器：Vortex®检测器(无需液氮)
分析范围：Φ0.1mm、Φ5mm
样品观察：彩色CCD摄像头（附变焦功能）
滤波器：3种模式自动切换
样品室：样品平台      240(W)×330(D)mm
                 移动量      X：220mm  Y：150mm   Z：150mm
                 载重量      10kg
重量：123kg(不含电脑)
X-ray Station：台式电脑 19"LCD (OS; MS-Windows XP®)
膜厚测量软件：薄膜FP法（zui多五层，各层十种元素）
                        检量线法（单层、双层、合金膜厚成分）
定量分析功能：块体FP法
统计处理功能：MS-EXCEL®
报告制作：MS-WORD®
安装环境：温度：10℃～35℃(±)5℃
                 湿度：35%～80%
使用电源：接地三头插座 AC100、15A
 

日立 FT9500 X射线荧光镀层膜厚测量仪特点：

1. 薄膜?多层膜测量

日立 FT9500 X射线荧光镀层厚度测量仪通过采用新型的毛细管（X射线聚光系统）和X射线源，把与以往机型FT9500同等强度的X射线聚集在30 μmΦ的极微小范围。因此，不会改变测量精度即可测量几十微米等级的微小范围。
同时，也可对几十纳米等级的Au/Pd/Ni/Cu多镀层的各层膜厚进行高精度测量。

2. 异物分析

通过高能量微小光束和高计数率检测器的组合，可进行微小异物的定性分析。利用CCD摄像头选定样品的异物部分并照射X射线，通过与正常部分的能谱差进行异物的定性分析（Al～U）。

3. 数据编辑功能

配备了Microsoft® Excel和Microsoft® Word。在Microsoft® Excel上面配备了统计处理软件，可以进行测量数据、平均值、zui大/zui小值、C.V.值、Cpk等的统计处理。 另外，通过Microsoft® Word可以简单的制作包含了样品画图的测量报告书。

4. 高强度照射

X射线荧光镀层厚度测量仪通过高强度照射在微小部分也可以鲜明的观察、聚焦位置。