三特炉业 品牌
生产厂家厂商性质
洛阳市所在地
【产品名称】1700℃-CVD管式炉
【炉管尺寸】φ25--φ120mm
【加热区】300mm
【额定温度】1700℃
【控温精度】±1℃
【应用领域】1700℃-CVD管式炉是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。
一、 产品描述
系列产品主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理，优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统，可保证实验数据的可靠性；产品采用新型陶瓷纤维材料作为炉膛材料，炉管材质优良，炉管两端不锈钢法兰密封，可在真空下工作，法兰上有进气口和出气口，可通入保护气体，精密针型阀可调节进气流量。
二、产品特点
1、 炉膛材料选用高纯氧化铝陶瓷纤维材料，新型拼装结构，高温不变形、坚固耐用
2、 发热体采用硅钼棒，可承受负荷大，稳定且使用寿命长
3、 炉管采用石英管，两端不锈钢法兰设计简单、合理、易拆卸，方便进出被烧结样品
4、 升温速度快，从室温升到1700摄氏度，一般需要100分钟
5、 采用智能PID温控仪表，控温精度高，冲温小，具有温度补偿和温度校正功能，精度为±1℃
6、 控温仪表具有程序功能，可设定升温曲线，可编程序30段
7、 一体式结构，出色的外观设计，美观、大方
8、 电子元器件均采用德力西产品，带有漏电保护功能
9、 本机对工作过程中的超温会发出报警信号，并自动完成保护动作
10、当仪表程序设定完成后，只要按下运行按钮，接下来的工作会自动完成
11、可选配大屏幕无纸记录仪，实现对升温曲线的实时记录，并带有存储卡可对实验数据进行分析和打印
12、可选配气体质量流量计，通入气体可数字精确控制
型号 | STGC-25-17 | STGC-40-17 | STGC-60-17 | STGC-80-17 | STGC-100-17 | STGC-120-17 |
炉管尺寸 | Φ25 x 900mm | Φ40 x 900mm | Φ60 x 900mm | Φ80 x 900mm | Φ100 x 900mm | Φ120 x 900mm |
额定温度 | 1700℃ | |||||
工作温度 | 1600℃ | |||||
加热区尺寸 | 300mm | |||||
电源电压 | 220V/2KW | 220V/3KW | 220V/4KW | 220V/5KW | 220V/5KW | 220V/8KW |
加热元件 | U型硅钼棒 | |||||
炉膛材料 | 湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料 | |||||
炉管材料 | 刚玉管 | |||||
控温精度 | ±1℃ | |||||
测温元件 | B型铂铑热电偶 | |||||
温控仪表 | 智能微电脑PID温控仪表，SCR/SSR控制，PID参数自整定功能；可编程序30个时段，程序升温、程序保温、程序降温 | |||||
升温速度 | 1-15℃/min自由调节 | |||||
炉体结构 | 炉膛温控一体式结构，双层外壳，空气循环隔热 | |||||
密封性能 | 炉管两端装有不锈钢金属法兰，配套高温 PTFE 垫圈，可在真空下进行工作， 密封真空度≤0.0001pa | |||||
气氛性能 | 法兰两端有进气口和出气口，压力表装在金属法兰上，精密针型阀可调节进气和出气量，可通入氮气、氩气、氢气等保护气体 | |||||
真空获得 | 配套独立的真空获得系统，系统内配有1台双极旋片式真空泵和数字真空计，包括不锈钢波纹管和挡板阀等组件，系统真空度≤5pa，还可以选择分子泵机组 | |||||
气路系统 | 配套独立的气路系统，系统有三路浮子流量计组成，有混气室，可单进单出也可三路气体混气后进入管式炉系统，浮子流量计量程：60-600ml/min；也可选择自动质量流量计系统，控制精度±1.5%FS，重复精度±0.2%FS，量程：一路0-100SCCM，二路0-200SCCM，三路0-500SCCM | |||||
设备保护 | 模块化控制，对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号，并自动完成保护动作 | |||||
人员保护 | 在设备上装有空开断路器，如发生短路漏电情况时会自动弹开，能保护设备和操作人员 | |||||
外壳 | 优质冷轧钢板数控机床下料加工，经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉 | |||||
质量认证 | ISO9001 CE SGS TUV | |||||
标准配置 | 1、炉体一台 2、温度控制器一台 3、电源线3米 4、热电偶一支 5、说明书一份 6、炉钩一把 7、高温手套一双 8、管堵二个 9、密封法兰一套 | |||||
