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面议NanoSystem NV-1800 3D轮廓仪是一种手动的非接触式三维轮廓仪,适用于任何表面。其设计简单,忠实于基本功能。Nanosystem利用自己的patented算法和白光干涉技术创造H/W和S/W。Patented的WSI/PSI技术测量各种表面材料和参数,包括表面纹理、形状、台阶高度和更高(0.1nm-垂直和0.2 um-横向分辨率)的二维和三维剖面。
白光扫描干涉技术(WSI)是一种测量高分辨率(0.1nm)、高速测量表面积、高度和体积的技术。在不破坏任何破坏的情况下,纳米系统的WSI技术(白光扫描干涉法)能在几秒钟内从0.1nm到10000μm范围内测量样品,并提供真实的样品三维形状。此外,重复性小于0.1%(1σ),无论放大,z轴分辨率为0.1nm。基于纳米系统技术的精度(高精度、重复性和重复性),该产品可广泛应用于半导体、印刷电路板、显示、工程部件、化工材料、光学部件、生物、R&D等领域。
NanoSystem NV-1800 3D轮廓仪提供高分辨率(0.1nm)、10万倍放大率(10 Mm)和高清晰度图像,在0.1nm至10000 μm范围内,在2秒内测量样品,提供真实的2D/3D样品形貌,无需准备(只需将样品直接放在样品台上),测量任意尺寸和几乎任何材料的样品(反射率为1%)。
NV-1800的优点
· 优良的测量精度
· 无需振动台面
· 抗振动的紧凑设计
· 快速测量速度
· 友好的测量界面
· 全手动操作
· 2D和3D多功能性能
主要功能
· 3D 形貌测量- 粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (选项)
· 高度,深度,宽度(从亚纳米到10)·
· 面积信息(体积,面积)-2D, 3D Measurement
产品规格:
· 干涉物镜:单透镜可选
· 扫描范围:0-180um(270um可选)
· 垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm
· 倾斜台:±3°
· Z轴行程:30mm(手动)
· 工作台面:50X50mm(手动)
应用领域:
Nano View系列为LCD(液晶显示器)、IC Package(芯片封装)、Substrate(基板)、Build-up PCB(积层板)、MEMS(微机电系统),Engineering Surfaces(工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。