EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪_电阻率、面电阻、方块电阻-杭州雷迈科技有限公司手机版

详细介绍

EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻，最大可达300×300平方毫米（12×12英寸）。在手动样品定位时，该设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或超过 10,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。

EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪

EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪产品介绍：

EddyCus® map 2530系列在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻，最大可达300×300平方毫米（12×12英寸）。在手动样品定位时，该设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或超过 10,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。

EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪

产品特点：

· 非接触式

· 快速、高重复度测量

· 高分辨率成像

· 最大 300 x 300 mm（12"）的样品成像测量

· 封装的导电层的表征

· 软件集成分析功能，例如电阻均一性分布、线扫描、单点分析

· 测量数据保存和导出功能

· 缺陷识别、分析

产品优势:

· 非接触式成像

· 高速 (5 分钟测量10,000个检测点)

· 重复性和精确性

· 高分辨率 (9 – 90,000个检测点)

· 封装后的膜层成像

· 均匀性和缺陷成像

产品参数

测量技术	非接触式涡流传感器
基材	晶圆（锭）、玻璃、箔等
最大限度。扫描区域	12 英寸/300 毫米 x 300 毫米（根据要求更大）
边缘效应校正/排除	2 – 10 毫米（取决于尺寸、范围、设置和要求）
最大限度。样品厚度/传感器间隙	3 / 5 / 10 / 15 毫米（由最厚的样品定义）
金属薄膜（如铝、铜）的厚度测量	2 nm – 2 mm (根据薄层电阻)
扫描间距	1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米（其他应要求提供）
每次测量点数（方形样品）	0.5 分钟 100 个测量点 3 分钟 10,000 个测量点
扫描时间	8 英寸/200 毫米 x 200 毫米，1 至 10 分钟（1 – 10 毫米间距） 12 英寸/300 毫米 x 300 毫米，2 至 6 分钟（2.5 – 25 毫米间距）
设备尺寸 (w/h/d)	31.5” x 19.1” x 33.5” / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米
重量	90公斤
更多可用功能	金属厚度成像、各向异性和薄层电阻传感器
	VLSR	LSR	MSR	HSR	VHSR
范围 [欧姆/平方]	0.0001–0.1	0.1–10	0.1–100	10–2000	1,000–200,000
精度/偏差			± 1%	± 1–3%	± 3 – 5%
重复性 (2σ)			< 0.5%	< 1%	< 0.5%

软件和设备操控:

· 人性化的软件

· 实时测绘测量

· 易于使用的统计分析选项

· 预定义的测量和产品配方（尺寸、间距、阈值）

· CSV 和 pdf 导出

· 3 用户级别

· 用于参数转换的材料数据库

· 边缘效应补偿

· 数据的存储和导入

· 数据集的导出（例如到 EddyEva、MS Excel、Origin）

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