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工艺设备：真空镀膜机；离子束刻蚀机，ICP刻蚀机，IBE刻蚀机等；

产品线丰富，元素分析:,气相色谱，液相色谱，气质联用，紫外分光光度计等；热分析等；红外光谱仪；

材料表面分析：原子力显微镜，光学轮廓仪，摩擦磨损试验机等；

通用分析：扫描电镜；

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