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日本shibaura直驱电机油旋转真空泵DRP系列
两段式，极限压力低
采用电机直接连接方式，结构紧凑，轻便，粉尘少，可保持清洁的环境。
减少振动和噪音
维修方便
强大的气镇阀（蒸汽处理阀）可抵抗蒸汽和可冷凝气体的排放
溅射设备
气相沉积设备
各种等离子设备
真空炉
各种真空测试设备
日本shibaura直驱电机油旋转真空泵DRP系列
| 模型 | 单元 | DRP-180YⅡ | DRP-360YⅡ | DRP-360Ⅲ |
|---|---|---|---|---|
| 施工 | 包括转子叶片式两级 气镇阀 | |||
| 设计抽速 | 50 Hz，L /分钟 | 150 | 300 | 300 |
| 60 Hz，L /分钟 | 180 | 360 | 360 | |
| 极限压力 | 帕 | 2.7×10 -2（* 2） | 2.7×10 -2（* 2） | 6.7×10 -2（* 2） |
| 所需马达 | ACV，相，kW | 200、3、0.4（* 3） | 200、3、0.75（* 3）（* 4） | 200、3、0.73（* 3）（* 5） |
| 录取 | NW25（* 6） | NW25（* 6） | NW25（* 6） | |
| 排气口 | PS1 | PS1 | PS1 | |
| 用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | TSR-1200 | |
| 油量 | 大号 | 0.8 | 1.2 | 1.5 |
| 尺寸（* 1） | 宽x深x高（毫米） | 261 x 494.5 x 209 | 261 x 572 x 172 | 260 x 503 x 176 |
| 质量（* 1） | 公斤 | 27 | 38 | 34 |
| 水处理量 | 升/小时 | 0.2 | 0.4 | 0.4 |
| 噪声 | 50 Hz，分贝（A） | 60 | 61 | 58 |
| 60 Hz，分贝（A） | 63 | 64 | 61 | |
| 振动 | 振幅0.05mm以下 | |||
| 冷却方式 | 强制冷却（风冷） | |||
| 模型 | 单元 | DRP-800 | DRP-1500 | |
| 施工 | 包括转子叶片式两级 气镇阀 | |||
| 设计抽速 | 50 Hz，L /分钟 | 700 | 1,250 | |
| 60 Hz，L /分钟 | 840 | 1,500 | ||
| 极限压力 | 帕 | 6.7×10 -2（* 2） | 6.7×10 -2（* 2） | |
| 所需马达 | ACV，相，kW | 200、3、1.5（* 3）（* 4） | 200、3、2.2（* 3）（* 4） | |
| 录取 | VG50 | VG50 | ||
| 排气口 | PS1 1/2 | PS2 | ||
| 用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | ||
| 油量 | 大号 | 2.3 | 3.5 | |
| 尺寸（* 1） | 宽x深x高（毫米） | 441 x 608 x 237 | 496 x 721.5 x 253 | |
| 质量（* 1） | 公斤 | 67 | 96.5 | |
| 水处理量 | 升/小时 | 0.8 | 1.5 | |
| 噪声 | 50Hz，分贝（A） | 63 | 73 | |
| 60Hz，分贝（A） | 67 | 76 | ||
| 振动 | 振幅0.05mm以下 | |||
| 冷却方式 | 强制冷却（风冷） | |||
* 1表示包括底座，电动机等在内的设定值。
* 2用MacLeod真空计测量
* 3全
封闭风扇电动机* 4 IE3规格
* 5 CE规格（相当于IE1）
* 6可选
