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日本芝浦shibaura小型扩散油真空泵ESV系列
该系列采用ESV-6或以下的环形加热器和ESV-8或以上的内部热式护套加热器，以从超高真空区域到高/中/真空区域获得稳定的压力。防止因机油碰撞而引起的压力波动。
ESV系列由于提高了加热油的热效率（与我们公司相比），因此具有运行时间短，排量大和临界背压高的特点。它还需要较少的液压油。
各种真空炉
各种实验的排气装置
管材制造设备
各种成膜设备
电子束焊接
电子显微镜
日本芝浦shibaura小型扩散油真空泵ESV系列
| 模型 | 单元 | ESV-3 | ESV-4 | ESV-6 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 抽速 | 升/秒 | 380 | 580 | 1,200 | |
| 极限压力 | 帕 | 10 -6 | 10 -6 | 10 -6 | |
| 工作压力范围 | 帕 | 10 -6〜3.3 ×10 -1 | 10 -6〜3.3 ×10 -1 | 10 -6〜0.4 | |
| 临界背压 | 帕 | 40 | 40 | 40 | |
| 大排量 | 帕升/秒 | 93 | 190 | 260 | |
| 用油 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | ||
| 油量 | 大号 | 0.12 | 0.18 | 0.3 | |
| 垫片 | 维通 | 维通 | 维通 | ||
| 加热器 | 格式 | 云母带 | 云母带 | 云母带 | |
| 电压，相 | ACV，相 | 200，1 | 200，1 | 200，1 | |
| 格式 | 千瓦 | 0.55 | 0.75 | 1.2 | |
| 录取 | VG80 | VG100 | VG150 | ||
| 辅助口 | VG25 | VG25 | VG50 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷却水量 | L / min，在25℃时 | 1.1 | 1.5 | 2 | |
| 辅助泵 | DRP-360Ⅲ或RP-360Z | DRP-800或RP-800ZⅡ | DRP-800或RP-800ZⅡ | ||
| 挡板格式 | 3C（雪佛龙） | 4C（雪佛龙） | 6C（雪佛龙） | ||
| 带挡板的抽速 | 升/秒 | 165 | 240 | 450 | |
| 挡板冷却水量 | L / min，在25℃时 | 1.1 | 1.5 | 2 | |
| 机油倒流率 | cm 3 / cm 2分钟 | 10 -8 | 10 -8 | 10 -8 | |
| 材料 | 圆筒 | 不锈 | 不锈 | 不锈 | |
| 喷射 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | ||
| 大众 | 公斤 | 8.5 | 11 | 20 | |
| 模型 | 单元 | ESV-8 | ESV-10 | ESV-12 | |
| 抽速 | 升/秒 | 2,000 | 3,000 | 4,500 | |
| 极限压力 | 帕 | 10 -6 | 10 -6 | 10 -6 | |
| 工作压力范围 | 帕 | 10 -6〜3.3 ×10 -1 | 10 -6〜3.3 ×10 -1 | 10 -5〜0.4 | |
| 临界背压 | 帕 | 46 | 40 | 37 | |
| 大排量 | 帕升/秒 | 400 | 460 | 800 | |
| 用油 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | 狮子A | ||
| 油量 | 大号 | 0.6 | 1个 | 1个 | |
| 垫片 | 维通 | 维通 | 氯丁橡胶 | ||
| 加热器 | 格式 | 种子 | 种子 | 种子 | |
| 电压，相 | ACV，相 | 200，1 | 200、3 | 200、3 | |
| 格式 | 千瓦 | 1.6 | 2.5 | 3.2 | |
| 录取 | VG200 | VG250 | VG300 | ||
| 辅助口 | VG50 | VG50 | VG80 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷却水量 | L / min，在25℃时 | 2.5 | 五 | 6 | |
| 辅助泵 | DRP-1500或RP-1200ZⅡ | DRP-1500或RP-1200ZⅡ | RP-1200ZII x 2 | ||
| 挡板格式 | 8C（雪佛龙） | 10C（雪佛龙） | 12C（雪佛龙） | ||
| 带挡板的抽速 | 升/秒 | 800 | 1,200 | 1,800 | |
| 挡板冷却水量 | L / min，在25℃时 | 2.5 | 五 | 6 | |
| 机油倒流率 | cm 3 / cm 2分钟 | 10 -8 | 10 -8 | 10 -7 | |
| 材料 | 圆筒 | 不锈 | 不锈 | 铁（镀镍） | |
| 喷射 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | ||
| 大众 | 公斤 | 二十五 | 45 | 55 | |
