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SEM主动隔振平台SEM Base LP
赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台SEM Base LP
SEM-Base-LP是我们的标准SEM-Base主动压电振动消除平台的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安装，提供*越的性能，并且符合人体工程学优化。紧凑的设计便于安装，无需使用扫描电子显微镜（SEM）的内置调平脚以外的任何东西来提升扫描电子显微镜（SEM）柱。而且，一旦安装，扫描电镜的高度以上的地板不会增加。SEM-Base-LP采用了我们*特的STACIS压电技术，具有与我们的行业标准SEM-Base-VI相同的振动消除性能。SEM-Base-LP包括脚轮，专门设计用于与许多赛默飞世尔科技（前身为FEI）工具集成。
Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool
SEM Base LP与许多Thermo Fisher产品型号兼容，包括
●Apreo
●Aquilos
●Helios Small DualBeam
●Nova NanoSEM x50
●Quattro S
●Scios
●Teneo
●Verios G4
●Verios 460, 460L
●Versa 3D
如果您的SEM/FIB未列出，请联系我们检查兼容性。
SEM主动隔振平台SEM Base LP优势
硬安装技术–SEM底座与内部SEM振动控制系统兼容，并积极缓解0.6 Hz的低频地板振动。
主动惯性振动消除-扫描电镜基地使用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地板。
采用压电技术的串行设计–*特的串行设计和专有的高压压电技术可实现从0.6 Hz到150 Hz的宽有源带宽，以及*与伦比的惯性主动消振，从2 Hz开始可降低90%。
性能
1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
规格
性能
主动自由度 | 6 |
主动带宽 | 0.6 Hz - 100 Hz |
被动固有频率 | 标称值为12 Hz |
有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
2 Hz时的隔振 | 90% |
≥3 Hz时的隔振 | 90 - 98% |
内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
工作负载范围 | 标准承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克） 高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克） |
磁场发射 4英寸（102毫米）处距离平台 | <0.02 μG broadband RMSd> |
设计、尺寸、环境和效用要求
环境和安全 | 符合CE和RoHS标准 |
主动隔振元件 | 最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
被动隔振元件 | 单个硬弹性体（无需压缩空气源） |
振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压 |
主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和支撑隔离面 |
尺寸（宽 x 深） | 35.25 x 44.25英寸、895 x 1124毫米 |
高度 | 标称6.3英寸（160毫米），SEM-Base关闭时不会改变 |
工作温度 | 50° - 90°F 10° - 32°C |
储存温度 | -40° - 130°F -40° - 55°C |
湿度 | 80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C |
系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC、50/60 Hz AC；<600 W，符合CE标准 |
地面位移 | <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd> |
内置控制器规格
处理器 | 150/75 MHz双核 |
采样率 | 10 kHz |
模拟输出 | 16个通道 |
模拟输入 | 16个通道 |
状态灯 | 单个LED |
前面板端口 | 1个串行USB2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC |
用户界面 | 前面板液晶显示屏 超级终端上的字符菜单 适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式以太网GUI |
