东莞普诺克真空系统

东莞市普诺克真空科技有限公司成立于2014年9月，是一家提供真空应用技术解决方案及各类真空泵配件维修和中央真空系统工程设计施工的企业，主要以经销真空机组、真空系统、旋片式真空泵、活塞真空泵为主，产品规格齐全，且拥有国内真空行业资深的技术人员和完整、科学的质量管理体系，确保产品*性和稳定性，解决在使用过程中遇到的各类疑难问题，免除客户的后顾之忧。东莞市普诺克真空科技有限公司的诚信、实力和产品质量获得业界的认可！欢迎各界朋友莅临参观、指导和业务洽谈！

普诺克真空机组产品应用：

蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等

单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等

真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等

冰箱、家用空调、中央空调、节能灯、背光源、自动抽空线、排气设备等

真空系统优势：

1、需要真空源时，可以在极短时间内达到所要的真空度。

2、真空源更为稳定，充足。

3、一个系统可供多个工作台同时使用，同时不影响不同机组间的运作。

4、压力容器内储存的真空源充足时，真空泵可停止工作/轮流停止运作，延长泵的休息时间，从而减少泵、零件、油的损耗，降低运作和维护的成本，同时也降低工作场所噪音。

5、操作便捷，易于掌握。

真空系统设计的基本原则：

1.真空系统元件互相连接时，要做到管路短、流导大；导管直径一般不小于泵入口直径，特殊情况下例外。

2.机械泵和罗茨泵在工作时会产生振动，需要在人口管道上连接软管减振，还可以装规管检漏。

3.真空系统建成后，应便于检漏。因此在每个封闭区段要设置一个规管座，便于安装规管检漏。

4.并联泵可以提高抽速，串联泵能提高极限真空度。并联的两个泵其极限真空度应当基本上在同一个数量级，如扩散泵与机械泵不能并联。

5.当采用扩散泵或者油增压泵为主泵的抽真空系统时，其主泵的人口高真空阀盖板应盖向主泵的入口，前级管道上的前级阀盖板应盖向主泵的出口，预真空管道上的预真空阀盖板应盖向炉子的出口。

6.采用罗茨泵为主泵的真空系统时，罗茨泵人口管道上的阀门盖板应盖向炉子的出口。在罗茨泵与前级机械泵之间的管道上，可不设置真空阀。

7.在扩散泵与油增压泵的入口管道上的高真空阀门上，一般应设置一个真空继电器，保护高真空阀不在大气压下开阀，防止破坏高真空阀的传动机构，又不使大气进入真空泵，防止油被氧化。

8.在罗茨泵的人口管道上，一般应安置一个真宅继电器，用来保护罗茨泵只在1.33×l03 Pa的压力下才能启动工作；若其压力超过此值时，则罗茨泵自动断电，停止工作。

9.在机械泵的入口管道上要设置一个截止阀和一个充气的阀。当机械泵停止工作时，截止阀立即关闭，放气阀立即打开，向机械泵通人大气。这里的截止阀、放气阀和机械泵的电源连在一起并互相连锁。

10.测量真空度仪器的规管座，一般不设置在炉室壳体七，而设置在接真空系统出口管道上。安装在规管座上的规管应上下直立，不得横放。

11.真空系统上各元件的连接要有互换性，即应选用标准尺寸的元件

真空机组故障分析与解决方法：

1.极限压力不高

管道、系统漏气——系统检漏

泵部分漏气——对泵进行检漏

前级泵极限压力下降——修理或更换前级泵

润滑油太脏或牌号不符——更换润滑油

油封磨损——更换油封

旁通阀处漏气——对旁通阀进行清理

2.抽速不足

管道通导能力不够——增加管道通导能力

前级泵抽速下降——修理或更换前级泵

旁通阀处漏气——对旁通阀进行清理

3.电动机过载

入口压力过高——调整、控制入口压力

转子端面与端面单面接触——调整转子端面间隙

前级泵返油进泵腔——安装防返油装置

旁通阀卡阻，使出口压力过高——对旁通阀进行清理

 4.过热

选择的前级泵抽速不够，造成压缩比过大——重新选用前级泵

入口压力过高——调整、控制入口压力

冷却不良——畅通冷却水

齿轮箱润滑油过多——调整油量

转子与泵壳接触——修整

齿轮、轴承、油封润滑不良——保证油量适当，润滑良好

 5.声音异常

装配不良——重新装配

导出齿轮与转子位置偏移使转子相碰——调整位置、保证间隙

入口压力过高——调整、控制入口压力

过载或润滑不良造成对齿轮的损伤——更换齿轮

轴承磨损——更换轴承

6.轴承、齿轮早期磨损严重

润滑油不良——更换润滑油

润滑油不足——补充润滑油

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