PNK真空系统用于真空蒸馏和真空干燥并回收溶剂是很理想的。特别是用真空控制器进行流程控制使真空压力可控，进而使工作流程程序化，保证了准确高效地进行真空蒸馏，以及高回收率，节能，环保。整个系统在与气体接触的部位都做特氟龙(PTFE)涂层处理，所以能保证它的抗化学腐蚀能力。

真空系统的类型：

有带控制器的自动控制和不带控制器的手动控制两大类；带控制器的有三种：

（1）标准型，由电磁阀调节气体流量达到控制真空压力的目的。

（2）经济型，通过自动关闭和开启马达来达到控制真空压力的目的。

（3）变频控制型，由变频马达通过改变马达转速来达到更加精确地控制真空压力的目的。

真空系统设计的基本原则：

1.PNK真空系统元件互相连接时，要做到管路短、流导大；导管直径一般不小于泵入口直径，特殊情况下例外。

2.机械泵和罗茨泵在工作时会产生振动，需要在人口管道上连接软管减振，还可以装规管检漏。

3.真空系统建成后，应便于检漏。因此在每个封闭区段要设置一个规管座，便于安装规管检漏。

4.并联泵可以提高抽速，串联泵能提高极限真空度。并联的两个泵其极限真空度应当基本上在同一个数量级，如扩散泵与机械泵不能并联。

5.当采用扩散泵或者油增压泵为主泵的抽真空系统时，其主泵的人口高真空阀盖板应盖向主泵的入口，前级管道上的前级阀盖板应盖向主泵的出口，预真空管道上的预真空阀盖板应盖向炉子的出口。

6.采用罗茨泵为主泵的真空系统时，罗茨泵人口管道上的阀门盖板应盖向炉子的出口。在罗茨泵与前级机械泵之间的管道上，可不设置真空阀。

7.在扩散泵与油增压泵的入口管道上的高真空阀门上，一般应设置一个真空继电器，保护高真空阀不在大气压下开阀，防止破坏高真空阀的传动机构，又不使大气进入真空泵，防止油被氧化。

8.在罗茨泵的人口管道上，一般应安置一个真宅继电器，用来保护罗茨泵只在1.33×l03 Pa的压力下才能启动工作；若其压力超过此值时，则罗茨泵自动断电，停止工作。

9.在机械泵的入口管道上要设置一个截止阀和一个充气的阀。当机械泵停止工作时，截止阀立即关闭，放气阀立即打开，向机械泵通人大气。这里的截止阀、放气阀和机械泵的电源连在一起并互相连锁。

10.测量真空度仪器的规管座，一般不设置在炉室壳体七，而设置在接真空系统出口管道上。安装在规管座上的规管应上下直立，不得横放。

11.真空系统上各元件的连接要有互换性，即应选用标准尺寸的元件。

12.对于以油扩散泵和油增压泵为主泵的真率系统，在这两种主泵的出口管道上应设置维持真空泵，可以节约节能。

保养维护：

1.定期检查真空泵，做好真空泵的日常维护工作。

2.定期清理及更换真空泵进气口真空过滤器滤芯。

3.定期检查电气控制。

4.定期检查真空管路及真空罐的密封情况。

降低真空系统漏气率的措施：

1.结构

真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键，真空系统的结构合理与否，将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。

（1）尽可能地避免出现小曲率半径的死角，要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。

（2）抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道，采用圆弧过渡，使气路畅通无阻，但要考虑清洗清扫的方便性。

（3）认真设计真空室内各种连接件的结构，使气路畅通，避免气路堵塞。

（4）打磨抛光真空系统内表面，表面越光亮就越不易气体吸附，越容易获得真空。

（5）尽可能减小真空室的体积，缩短管路系统。

2.密封形式的选择

密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式，对于人工晶体生长设备，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，无需采用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例，我们选择磁性流体密封作为旋转动密封，选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封，小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封，各种静密封则采用“0”型密封圈密封形式，直径压缩比为25％。

密封件材质的选用：真空度在lO-3Pa以下的真空系统，密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是，考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度最高可达2300℃，密封部位进行水冷后，其温度在80℃左右，个别处温度可达100℃以上)。所以，要选择比较理想的密封圈材料。

用于真空密封橡胶材料，除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还要求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，同时要有一定的强度、硬度和弹性等。

3.静密封结构的选择

各种真空系统中，80%以上的密封为静密封，静密封效果的好坏，对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此，要对静密封结构进行认真设计，以达到理想的效果。

对静密封结构的设计，主要考虑如何选择主要密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能。

无论是矩形密封槽、燕尾型密封槽还是梯形密封槽，其槽底较小的粗糙度容易获得为主要密封面，而其侧面则较小的粗糙度往往不易获得。同时，为了消除残留气体，在存在残留气体处设计了贯通孔，使系统内部各处畅通无阻。