大载重量二维压电平移台

上海昊量光电设备有限公司推出的二维平移台主要是为在计量学中样品的精确操控和显微镜等应用而设计的。推出的二维平移台主要分为以下两种。

1). 紧凑型二维压电马达平移台AUXY-XLS

AUXY-XLS由两个AU-XLS平移台组成，而且不需要额外的适配板。因为其由两个AU-XLS一维位移平台组成，该位移台采用无声的超声马达，在提供大的行程的同时拥有较高的精度。该平台使用寿命长、快速（400mm/s）、无噪声、断电自锁等特点。

2).大推力二维压电平移台AUXY-XSS

AUXY-XSS扫描台是对高精度和高重复性要求的大载重量显微镜和计量应用设计的。该平台在载重量超过20kg时仍可提供亚微米的精度和高的稳定性。该位移台由压电促动器和光学编码器组成，当您需要移动大的部件并要求纳米级的精度和超低的稳定时间时，AUXY-XSS是该要求的*解决方案，并且该款平移台可以根据客户的要求进行定制。

主要特点

l  大行程 （92mm）

l  大载重量（20kg）

l  高精度（78nm）

l  高速度（400mm/s）

l  支持断电自锁

l  可在真空和非磁环境

主要应用

l  光电子学

l  扫描电子显微镜

l  半导体生产

l  医学和材料科学

l  生命科学与生物技术学

l  显微镜和计量学