纳米平移台（压电马达型，10-1500mm行程）

XLS系列线性位移平台，是由超声波压电马达驱动，可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动，速度可达到200mm/s，并且该平台非常适用于扫描，可提供恒定的扫描速度，速度不稳定性低于2%。

该平台采用超声波马达，对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动，并通过高频率产生*的速度，并且没有噪声，电机在定位后可产生自锁，由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触，大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。

XLS系列平台可提供不同的行程，行程范围可达到100mm。为了适应不同精度要求的应用，平台集成不同精度的位置传感器，目前可提供的位置传感器有1.25μm；330nm；78nm和1nm具体参数如下图所示：

此外根据不同应用可以选择不同行程的平台，可提供平台行程参数如下：

此外，由于该平台采用模块化设计，可以组成多维位移平台，例如：XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。

主要特点：

l  大行程 （100mm）

l  高精度（25nm）

l  高速度（100mm/s）

l  支持断电自锁

l  可在真空和非磁环境

主要应用：

l  光电子学

l  扫描电子显微镜

l  半导体生产

l  医学和材料科学

l  生命科学与生物技术学

l  显微镜和计量学

纳米平移台（压电马达型，10-1500mm行程）