1、探针台 Stage 尺寸：70mm(L)X40mm(W)X38mm(H );

　　2、探针台 Stage 运动：X，Y，Z 三轴直角坐标;

　　3、探针台 Stage 行程：12mm(X，Y，Z);

　　4、X，Y，Z 粗调分辨率：1nm;

　　5、探针台 Stage 精调范围：1nm(X,Y,Z);

　　6、X，Y，Z 精调分辨率：1nm;

　　7、探针台 Stage 数：2、4;

　　8、探针台 Stage 控制：操纵杆，按键和旋钮;

　　9、电测试探头：2、4;

　　10、工作电源：220VAC 2A;

　　11、纳米实验系统探针机构与样品台采用可拆卸式固定方式，不影响电镜的正常运动模式;

　　12、纳米实验系统探针头采用插接式结构，基座上配有探针、及电测试等的通用机械、电气接口;耐压为 1000 V;

　　13、操作控制器具有操纵杆和旋钮两种操控方式，可灵活切换控制探针的三个运动方向，具有粗精四级运动精度控制，四个探针的运动也可灵活切换控制;

　　14、电测试探头采用机械连接固定方式，安装角度可调，拆装、固定使用方便;

　　15、实验系统与电镜无缝连接，保持扫描电镜真空腔内的原有真空度。