德国Kleindiek 品牌
代理商厂商性质
上海市所在地
MM3E 以 MM3A-EM微纳米操纵仪为基础,具有MM3A-EM 相同的紧凑性、精确性和稳定性。同时,MM3E具有闭环位置反馈功能(closed-loop positional feedback),该功能提高微纳米操纵仪的易用性。一键定位MM3E的探针到工作(Working)和停留(Parking)位置。
MM3E 与市场上几乎所有的 SEM 或 FIB/SEM 兼容。它配备了一个直观的拖放式(drag&drop-style)控制软件,可方便地在 SEM 或 FIB/SEM 工具内定位探针。
软件可执行坐标变换,使 MM3E 以笛卡尔坐标系工作,其重现性仅为几微米。利用可选的带编码的旋转轴,样品可在工作位置进行同心旋转(compucentrically)。
产品特点
配有模块化组件和一系列插件工具的即插即用系统
适用于大多数 SEM/FIB 的接口解决方案
轻松使用多个机械手
结构紧凑,可实现更高的共振频率
几乎不受振动影响
快速手动预定位
宽大的工作范围(100 cm³)
技术参数
X/Y 分辨率:0.5nm
Z分辨率:0.02nm
R轴分辨率:0.5e-6°
XYZ重复性: < 2 µm
R轴重复性: < 0.02°
漂移:< 1 nm/min
同心旋转同心度 ~30 µm
应用
原位提取(In-situ lift-out)
纳米探测(NanoProbing)
微纳操纵(NanoManipulation)
Compucentric rotation within a field of view of 30 µm