AST椭偏仪SE200BA-M300

简介

AST椭偏仪SE200BA-M300是一种利用光的偏振态变化来进行薄膜性质表征的仪器，主要用来测量薄膜材料的厚度、NK参数等性质。椭偏仪的主要原理是将自然光（紫外光、可见光以及红外光）变成*偏振光后通过一定角度入射到样品上，偏振光进入样品介质后会反射回到椭偏仪检偏器内，由于样品介质会对偏振光的偏振态发生改变，而这种改变会被椭偏仪测量，椭偏仪就是利用这个介质对偏振光性质改变的原理来表征介质的性质的。

SE200BA-M300型号实现250nm到1000 nm超长波段的探测，可实现对材料紫外、可见和红外波段的全覆盖测量研究，同时可搭配自动平台扫描、自动变角、微光斑探测以及平台加热等功能满足不同应用需求。

系统配置:

• 型号：SE200BM-M300
• 探测器：阵列探测器
• 光源：高功率的DUV-Vis-NIR复合光源
• 测量角度变化：手动调节
• 平台：ρ-θ配置的自动成像
• 软件：TFProbe 3.2版本的软件
• 计算机：Inter双核处理器、19”宽屏LCD显示器
• 电源：110–240V AC/50-60Hz，6A
• 保修：一年的整机及零备件保修
• 波长范围：250nm到1000 nm
• 波长分辨率: 1nm
• 光斑尺寸：1mm至5mm可变
• 入射角范围：0到90度
• 入射角变化分辨率：5度间隔
• 样品尺寸：大直径为300mm
• 基板尺寸：多可至20毫米厚
• 测量厚度范围*：0nm〜10μm
• 测量时间：约1秒/位置点
• 精度*：优于0.25％
• 重复性误差*：小于1 Ǻ

规格参数

波长范围：250nm 到 1000 nm
波长分辨率: 1nm
光斑尺寸：1mm 至 5mm 可变
入射角范围：10 到 90 度
入射角变化分辨率：0.01 度
样品尺寸：大直径为 300mm
基板尺寸：多可至 20 毫米厚

选项配置

• 用于反射的光度测量或透射测量；
• 用于测量小区域的微小光斑；
• 用于改变入射角度的自动量角器；
• X－Y成像平台(X-Y模式，取代ρ-θ模式)；
• 加热/致冷平台；
• 样品垂直安装角度计；
• 波长可扩展到远DUV或IR范围；
• 扫描单色仪的配置；
• 联合MSP的数字成像功能，可用于对样品的图像进行测量等。

相关产品

光谱反射分析系列：SR100、SR300、SR500等

微光斑分析系列：MSP100、MSP300、MSP500等

椭偏仪系列：SE200BA、SE200BM等

 自动扫描测试平台：M100、M150、M200等