AST椭偏仪薄膜分析仪SR100
AST椭偏仪薄膜分析仪SR100系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜进行分析提供了便利。
产品详情
基本功能 | 1，测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数
2，实现薄膜均匀性检测
3，实现反射、投射以及颜色测量 |
产品特点 | 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库；
简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同的参数；
快捷、准确、稳定的参数测试；
支持多功能配件集成以及定制；
支持不同水平的用户控制模式；
支持多功能模拟计算等等。 |
系统配置 | 型号：SR100R
探测器： 2048像素的CCD线阵列
光源：高稳定性、长寿命的卤素灯
光传送方式：光纤
台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量，200mmx200mm的大小
软件： TFProbe 2.2版本的软件
通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连
测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率
电脑硬件要求：P3以上、低50 MB的空间
电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
保修：一年的整机及零备件保修 |
规格尺寸
波长范围：250nm到1100 nm
光斑尺寸：500μm至5mm
样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm
基板尺寸：多可至50毫米厚
测量厚度范围*：2nm～50μm
测量时间：2毫秒
精度*：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
重复性误差*：小于1 Ǻ | |
可选配件项 | 用于传递和吸收测量的传动夹具（SR100RT) )
低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP100)
在多个位置下，多个通道用于同时测量 (SR100xX)
在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘（SRM100-200/300） |
应用系统
主要应用于透光薄膜分析类领域：
1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)
2 半导体制造(PR，Oxide, Nitride…)
3 液晶显示(ITO，PR，Cell gap...)
4 医学，生物薄膜及材料领域等
5 油墨，矿物学，颜料，调色剂等
6 医药，中间设备
7 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8 半导体化合物
9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
10 非晶体，纳米材料和结晶硅
