德国MUEGGE产品涵盖了从微波工业加热到等离子应用的多种工业场合，同时还可以为科研机构提供设备。

传统的线性电源相比，开关电源的优势在于效率高（此处的效率可以简单的看作输入功率与输出功率之比），加之开关晶体管工作于开关状态，损耗较小，发热较低，不需要体积/重量非常大的散热器，因此体积较小、重量较轻。但开关电源工作时，由于频率较高，会对电网及周围设备造成干扰，因此，必须妥善的处理此问题。

线性电源的优势在于结构相对简单，可靠性相对较高，电流纹波率可以很容易的做到比较低，维修也较为方便。

实际上，现代的电路中，开关电源电路和线性电源电路在大多数情况下，是组合使用的——使用开关电源进行初步的变换，给纹波、精度要求不高的电路使用；同时，使用低压差线性电源电路（LDO）获取精密的、低纹波（噪声）的电压供诸如运算放大器(OP-AMP)，模数转换器(A/D Converter)使用。

20KWMUEGGE微波头　磁控管头紧促型微波头，适用于等离子行业的用户MUEGGE微波发生器

5KW915MHZ5KW 915MHZ 微波发生器 用于制药，木材烘干，陶瓷处理等R3T等离子蚀刻机/SU-8移除****的快速等离子蚀刻技术：

德国R3T高速等离子蚀刻机 等离子蚀刻，干法蚀刻机，灰化，去胶，SU-8移除，应力消除，远程等离子源，MEMS（微机械

零件加工），等离子干法蚀刻，亲水性/斥水性改变，表面糙化处理。型号STP 2020，STP1010

MUEGGE磁控管 MB2568A2KW磁控管，水冷 MUEGGE微波头　磁控管头- 2 kW

MUEGGE同轴微波发生器 300WHF

MUEGGE同轴微波发生器 500W

MUEGGE微波等离子系统蚀刻率： 用于SU-8样板，＞20um/分钟 用于硅样板，可以达到90um/分钟 温度控制达到120℃ 基板尺寸达到460mm*460mm MUEGGE等离子设备各向同性蚀刻 对于SU8去除超过20um/min 对硅多种样品达90 um/min 对300mm晶片上光电保护层灰分达到10 um/min SiN和BPSG：典型1 um/min 热氧化物：典型250 nm/min MUEGGE3短截调谐器-功率：3 KW() -频率：2450MHz，+/- 50 MHz -调节量：电压驻波比（VSWR）10 (1KW)

MUEGGE自动调谐器-调节范围：VSWR<10:1 -调节精度：1% -调节速度：1秒

MUEGGE环流器-隔离：26 dB -输入功率：6000W -反射功率：6000W

MUEGGE环流器微波隔离元件 -隔离：***小23 dB -输入功率：3000W cw -反射功率：3000W cw MUEGGE波导3短截调谐器 型号：MW2009A-260ED

工业微波源 调谐系统 MUEGGE等离子微波电源低压微波等离子源 实用的设计 小型化设计 广泛应用 高密度等离子体 高效率 损伤小 容易适配用户系统 MUEGGE微波等离子系统高频频率：2.45GHZ 尺寸：用户 915MHZ 材料：箱体：铝 5.8GHZ 气体簇射：铝 高频输入功率：典型2KW/m@100pa 等离子源：石英，Al2O3 处理压强：典型10pa—100pa 制冷：水冷/风冷结合 等离子体密度：达到1012/cm3@2.45GHZ 连接器：微波：同轴连接器 电子温度：~2ev 水：挤压 均匀性：优于5% MUEGGE波导元件-角度：90度 -半径：100mm -功率：30 KW -频率：2.45GHz，+/- 30 MHz -波导尺寸：WR340 -法兰：UDR26 -材料：铝 -表面处理：RAL 7035 -重量：500g MUEGGE波导元件E型弯头—90度MUEGGE微波等离子系统微波等离子体CVD设备 高效硅基薄膜太阳能电池的PECVD设备 磁控溅射镀膜及PECVD设备 在PECVD沉积室主要用于射频增强 等离子气相沉积的方法制备各种薄膜。