AZM 415-11/11ZPK 24 VAC/DC 101167205    门保护开关    SCHMERSAL
TAS301/220+X+209    潜水泵    brinkmann
KL5101    模块    Beckhoff
M-3SED6CK13/350CG24N9K4/P(R900223864)    比例阀    Rexroth
ZS25GE-mn120/100/p10    风速传感器    Hoentzsch
NT    显示表    Hoentzsch
MHA-A2P    压力表    AirCom
FTL260-1020    液位传感器    E+H
69010050B.SX12V025HP    振动传感器    SENSOREX
PSV 552/220-3 -42 H 80/80/A2    液压阀    Hawe
PSV 55/220-3 -42 H 80/80 /C 2    液压阀    Hawe
AZ16 ST1-AS SCHMERSAL    接近开关    SCHMERSAL
CFAM 12P3600/S14    编码器    Baumer
z819/13/16X1.5    接头    Hasco
z809/13/16X1.5    接头    Hasco
AZ16 ST1-AS SCHMERSAL    接近开关    SCHMERSAL
IPRK 95/44 L.2    接近开关    Leuze
OGWSD 70 P3K-TSSL    放大器    Di-soric
DCC12-M04-PSK-IBSL    接近开关    Di-soric
IR 25 PSOK-IBS    感应传感器    Di-soric
777949    控制器    PILZ
774318    控制器    PILZ
DCM3-217B-S    压力开关    FEMA
Nr：040012215 ALSR25    轴向轴承系统    PFAFF
OMNIPORT20    探头    E+E
HA040201    温度传感器    E+E
HA040204    压力传感器    E+E
HA010103    过滤器    E+E
HA010813    电缆    E+E
Certificate of origin（E+E）    原产地证明    E+E
6825N    灯管    HOENLE
3VF3111-3BN41-0AA0    模块    SIEMENS
BAC 40/134-1,85/2-S    泵    Wilo（Salmson）
29 BM-199/499    凸轮开关    STROMAG
Photo sensor FSP 60A1-2202-E    转换器    Sensorik
A2060 (25Glieder, jeweils 2 Ketten gepaart)    链条    Renold
A2060(27Glieder, jeweils 2 Ketten gepaart)    链条    Renold
A2060X10FT    链条    Renold GmbH
1394142,6.034.02-6707-11    测试鞋    foerster
0154474,6.762.02-6621-2510    碳刷    foerster
04F12y38T05 ID.8000602    探头    GE
04A07x43L03 ID.8000601    探头    GE
05D19y04L05 ID.8000362    探头    GE
95.600.029.2.6    工件夹具    OTT-JAKOB
MFM D-6270/LDP SN1709-12C13295-D    气体流量计    M+W Instruments GmbH
PDMP 22-41/G 24    压力调节阀    Hawe
VME421H-D-1    绝缘检测仪    Bender
6DD2920-0AR5        SIEMENS
1-MP01    放大器    HBM
BN5983.53 DC24V    安全继电器    DOLD
GV470    隔离放大器    motrona
GV210    隔离放大器    motrona
MP 80C 1.5KW B=470mm    潜水泵    SACEMI
YT71IMAAA2505;IMM71A 0.37KW B=250mm    潜水泵    SACEMI
FLDP-IM8-0001 Nr:6825320    总线模块    Turck
LDECB0F1112NNNHW    控制器    LENZE
02170-05    工件夹具    norelem
02007-924X100    工件夹具    norelem
07040-36125    工件夹具    norelem
07040-36315    工件夹具    norelem
07030-30315    工件夹具    norelem
0250RN006 BN4HC s-nr:319536    滤芯    hydac
3RN1-011-1CB00    模块    SIEMENS
Artikel Nr. 3620019    过滤器    Grafix GmbH
ETB Z015B8 GS 24V 34NM    抱闸    danfoss bauer
GS-22-200-AA-830N-K11913    气弹簧    ACE
Artikel:152-00713 typ: 35_HGE_590_FV70_A1R    感应传感器    STROMAG
TS ,0111028    液位变送器    KSR Kuebler
Order-no. B26660    测试仪    FORM+TEST Seidner
Order-no. B26670    附件    FORM+TEST Seidner
6243.25..002 Druckminderer Type 6243.2 DN25    减压阀    SYR
XALK178G    压力传感器    SCHNEIDER
XAPM2204    压力传感器    SCHNEIDER
XAPM3206    压力传感器    SCHNEIDER
11046061 HSSE D 33B N 1-10.5mm 0.5    麻花钻    HAHN+KOLB Werkzeuge GmbH
model-code BGN-S309BJ0F0-0-S50-X    流量计    Heinrichs
FSK-254-2.4/W/-/12/Z4    液位计    hydac
LS 90 L G326591MM    电机    LEROY-SOMER
LTYPE: 9101200110    缓冲垫    H+L
B8151-0 Nr:6904601    接头    Turck
BS8151-0 Nr:6904611    接头    Turck
BI15U-CP40-FDZ30X2 No.4280600    接近开关    Turck
SI5000    压力传感器    IFM
43628999    工业减震器    Hanchen
IBV 102 ID:536422-20    光栅尺    heidenhain
S2-GL25    流量计    Eletta Flow
MPRN03 ID-Nr: 288275    齿轮箱    Vogel
200.051.000 4.054 + AP 0 Kombirolle ? 62,5 mm    轴承    Winkel
UR1-015GM    流量开关    Honsberg
KUS 3.50 230V AC 2200800157    整流电源    kuhse
43048990    衬垫圈    SAT Anlagentechnik GmbH
43048969    衬垫圈    Sterling
35042269    密封维修包    Sterling
MI250B/NJ25-15m    高温接近开关    Mel
MI250B/NJ25-25M    高温接近开关    Mel
MI250B/NJ20-20m    高温接近开关    MEL Mikroelektronik GmbH
6262592 LP60SL44WEGE PE(50A)+PE+9X10A/480V+24X10A/24V+9XPB    电气滑环    Stemmann-Technik GmbH
DG2H    油压传动阀    Hawe
G22-0-G24    油压传动阀    Hawe
GR2-3-G24    油压传动阀    Hawe
G3-3-G24    油压传动阀    Hawe
383600-22    编码器    heidenhain
POLIM-C 2.5N    自动控制器    ABB
BSK 2651-01 31645    工件夹具    ORTLIEB Praezisions-Spannzeuge GmbH
6063120 4WE 6 E S01-24DG/V    电磁阀    hydac
6063118 4WE 6 D S01-24DG/V    电磁阀    hydac
SK 1000E-401-340-A-E    自动控制器    NORD
NT 64-MS-S6/370-2K-T70NC    液位开关    Buhler
MS96-12R/24VDC Nr:5231007    流量开关    Turck
FCS-G1/2A4-NA Nr:6870338    流量开关    Turck
ASEW001D10    位置指示器    Magnet-Schultz
EM 411 PH/180° 1O/1S 43119003    限位开关    steute
MPS3-230/24 24V NO.85051    电源模块    Murr
MVW-630-SHP    分流阀    M+S HYDRAULIC
Nr    振动密度仪    J.Engelsmann
Nr125990008    量筒    J.Engelsmann
ED 350/B/N-2 SN.9705650001    气压缸    El-O-Matic
6DD1661-0AE1    通讯模块    SIEMENS
6DD1661-0AD1    通讯模块    SIEMENS
6DD1640-0AH0    模块    SIEMENS
6DD1610-0AH6    存储    SIEMENS
6DD1600-0BA2    CPU板    SIEMENS
6DD1684-0GD0    电缆    SIEMENS
6DD1681-0GK0    模块    SIEMENS
6DD1681-0DH1    模块    SIEMENS
6DD1681-0AJ1    模块    SIEMENS
6DD1684-0GC0    电缆    SIEMENS
6DD1681-0EB3    模块    SIEMENS
6DD1682-0DA1    附件    SIEMENS
6DD1842-0AA1    模块    SIEMENS
6DD1607-0AA2    模块    SIEMENS
6DD1607-0CA1    模块    SIEMENS
6DD1606-0AD1    模块    SIEMENS
6DD1682-0CH2    机架    SIEMENS
LB3F-50 G1/2    防爆阀    Hawe
LB3F-63 G1/2    防爆阀    Hawe
GKR04-2M VAK 071C42    电机    LENZE
FS4    滤芯    ZANDER
FS5    滤芯    ZANDER
DM 100Z80-160    流量计    Elster
6SY7000-0AB28    风机    SIEMENS
6SY7000-0AB30    风机    SIEMENS
NI4U-EG08-AN6X Nr:4600610    接近开关    Turck
AF80/2C-11 3~MOT A807175313H 0489/Y06 361782 1.8kw Ha0102100    电机    tool-temp
C-572/571 with Motor Wb0202030    泵（含电机等配件）    tool-temp
63A for TOOLTEMP TT380/2 Gk0700800    开关    tool-temp
IGMF 008 GOP with 10m cable 3x0.34 m㎡ （P30709/10M）    流量计    EGE
11BIS 1/2    减压阀    DESBORDES
MSV D5 SOS 00 DV24V1W    电磁阀    METAL WORK
DF27A1B1C1G2ET1LS2000    阻旋式料位计    mollet
PNOZ X2.8PC 24-240VDC 787302    安全继电器    PILZ
FTA3901L05    温度传感器    Ahlborn Mess- und Regelungstechnik GmbH
FLDP-IM16-0001 No.6825326    总线模块    Turck
P27000H1-S001    隔离放大器    Knick
VOE-B/8/2/7/7/7/7/7/7/7/7/P    油分配器    WOERNER Smeersystemen BV
VOE-B/6/2/7/7/7/7/7/7/P    油分配器    WOERNER Smeersystemen BV
BC10-QF5,5-AP6X2 Nr:2620117    液位传感器    Turck
TP3-4121A024M，Nr：084135    安全开关    Euchner
NSP-SW04TPK    流量计    KOBOLD
PSR-11153R15R1    流量计    KOBOLD
PSR-11206R20R1    流量计    KOBOLD
TMA-06416205    流量计    KOBOLD
DUK-11G4HE34RB    流量计    KOBOLD
FW1-020GP011    流量开关    Honsberg
DV3.001.776B    压力变送器    Montwill GmbH
2832700    交换机    Phoenix
1517916    总线电缆    Phoenix
2989103    以太网交换机    Phoenix
2297057    断路器    Phoenix
OMNI-F-015GK029S-10    流量计    Honsberg
OMNI-F-015GK077S-13    流量计    Honsberg
NS.COD. 999.192.08150 SERVOAMPL. DMS-08 BF    工件夹具    Baruffaldi
S22_HKP11R;SCHMIDT Kniehebelpresse Nr. 11R    手动压力机    Schmidt
26.4025/20L    外圆刀座    EWS Weigele
26.4025/20R    外圆刀座    EWS Weigele
FDA5021-D.230V,5S，（Germany）    控制单元    HANS HENNIG
BG06-31/P05LA32-G/EMV-SP,Artikel-Nr.: 171Z181500    电机    Bauer Gear Motor GmbH
Stromrichter SR-A-R-230, Art.-Nr.7115971    电机附件    Bauer Gear Motor GmbH
3rt1017-2kb42    自动控制器    SIEMENS
DS2-1    阀    Hawe
RK 41,DN 80    止回阀    Gestra
RK 41,DN 125    止回阀    Gestra
RK 41,DN 150    止回阀    Gestra
AW1 211 621 07    信号铃    Funke
RLM60/S135-P-0:1M    传感器    STM
1700 R 005 BN4HC Nr:1265872    滤芯    hydac
SE534    电极    Knick
MR-015GM010    流量传感器    Honsberg
PMC10    压力开关    elettrotec
DM652F 50 * 40ST 22T-2,5GV    减压阀    Mankenberg GmbH
WH3H-G24/8W    平衡阀    Hawe
F12-060-MF-IV-D-000-000-0    液压马达    parker
DR 6 DP1-5X-25Y    电磁阀    Rexroth
PGP502A0016CH1D1NE3E2B1B1(3309111389)    齿轮泵    parker
PGP502B0058CP2D1NE3E2S-502A005(3309121095)    齿轮泵    parker
PGP505A0080CJ1H1NE5E3B1B1（3319111401）    齿轮泵    parker
MI250/NJ25-15M    高温接近开关    MEL Mikroelektronik GmbH
z809/13/16X1.5    接头    Hasco
MA24902    数据采集器    Ahlborn Mess- und Regelungstechnik GmbH
901221/40-1043-3-200-000/000    温度控制器    JUMO
S7-M    底座    Releco
C3-A30X/AC230V    控制器    Releco
S9-M    底座    Releco
RHC-2    液压阀    Hawe
VP1R-1/4-WG230    液压阀    Hawe
LB4-F/100    流量计    Hawe
6824260 WAS5-THERMD    总线模块    Turck
6824089 SDNB-04A-007    总线模块    Turck
MS96-12R/24VDC Nr:5231007    隔离器    Turck
8526-6100    压力传感器    Burster Praezisionsmesstechnik GmbH & Co KG
VG1/8    阀门    Sommer-automatic GmbH & Co. KG
A5240/1004/.012 AU700004    电磁阀    GSR-Ventiltechnik GmbH & Co KG
Art.-Nr.50802 Typ.NTS 80/20 d1=80mm h1=32mm    支撑头    Isoloc
Art.-Nr.70562 Typ.NTS 50 bis NTS100 M20*1.5*150mm    连杆    Isoloc
SPY-LIZER extern mic activ frequency equalizer    均衡器    SPYLIZER
RC2    阀门    Hawe
WGR2-2-WG230    阀门    Hawe
RH1    阀门    Hawe
SDPB-40A-1007 Nr:6824439    模拟量输入模块    Turck
SDPB-0008D-1004 Nr:6824420    输出模块    Turck
RSSW-RKSW458-5M    DP电缆    Turck
IPSWKP4-5-SWSP4/S90 Nr:6900319    电源电缆    Turck
8.5868.2132.3112    编码器    KUEBLER
121213670    变送器    technotrans AG
AZ/AZM 200-B30-RTAG1P1    感应传感器    SCHMERSAL
SPS12103    电源    profitec
WDPFA06-ADB-V-16-G24/D1    阀    wandfluh
FGN36AA630NNF+FGRJ3NN0630    接近开关    AEG
4.3519.00.141    风速仪    ADOLF THIES GmbH & Co. KG
AES 1235    感应传感器    SCHMERSAL
RUN70-M18K-AP8X-H1141 Nr:1830035    接近开关    Turck
WWAK4-2/P00 Nr:8007148    线缆    Turck
6905 117 F2    滤芯    Hawe
KM-020GK016    流量调节器    Honsberg
KM-020GK030    流量调节器    Honsberg
KM-020GK020    流量调节器    Honsberg
Siebplatte No.20539230    筛板（功能板）    Lorentzen & Wettre
Zahnriemen No.91201004    皮带    Lorentzen & Wettre
420311 NR:15300116    压力传感器    Bedia
420312 NR:15300119    压力传感器    Bedia
1511Z07-038.014    精密角度位移传感器    FSG
RS-23S10C-6A12B-17M23    编码器    Turck
11191030    钻头    HAHN+KOLB
DKZOR-AE-173-S5.10    比例换向阀    ATOS
DPZO-AE-373-S5.32    比例换向阀    ATOS
DPZO-AE-373-S5/E.31    比例换向阀    ATOS
DPZO-AE-273-S5/E31    比例换向阀    ATOS
A401N-PH/0    PH计    Knick analytics
A401N-cond/0    电导率仪    Knick analytics
A401N-condI/0    电导率仪    Knick analytics
FCS-G1/2A4-AP8X-H1141 Nr:6870004    流量开关    Turck
BA328C    流量指示器    Mitex GmbH
EFK2-008HK029OS(1-150cm/s)    流量开关    Honsberg
MT12W Id.:231011-03    光栅尺    heidenhain
KST 2-40 (168137)    碳刷(相)    Vahle GmbH & Co. KG
KST 2-40 (168138)    碳刷(地)    Vahle GmbH & Co. KG
KMK 30-55 PH;ST0154440    碳刷    Vahle GmbH & Co. KG
KMK 30-55 PE;ST0154453    碳刷    Vahle GmbH & Co. KG
Z5-2    扣机    STRACK
Z5-2-(1.2.4.6.8.9.12.17.18.19.20)    扣机    STRACK
Z5140-0    行位扣    STRACK
6157BA    压力传感器    kistler
MEM56ST    制动器    Corbetta
CSTN 1000 Art.No.717679    变压器    Ismet
STB55-5000-000    温控器    PMA
B94014002 RCM420-D-2    绝缘检测仪    Bender
B911731 W1-S35    互感器    Bender
46328180 VMY160L06NN1PXG056    减压阀    parker
IKL015.38 G 2319P-15    传感器    Proxitron
GL80 9/1 LB DA 14X30 50-70    减速机    SPEEDERMOTION
BI20-CP40-VP4X2 5692    传感器    Turck
IM1-451EX-R No.7541188    安全栅    Turck
MK33-221EX0-HLI/24VDC No.7506431    安全栅    Turck
NI8U-M12-AP6X-H1141 644140    接近开关    Turck
BI15U-CP40-VN4X2/S10 540511    传感器    Turck
BI15-CP40-Y1X 0110    接近开关    Turck
NI60-K90SR-VP4X2 5640    传感器    Turck
DNI12U-M18E-AP4X3 582235    传感器    Turck
NI12U-M18-AP6X 645100    接近开关    Turck
NI50-K90SR-Y1 0074    接近开关    Turck
VB60.5-CS19 No.6999161    总线模块    Turck
BI1,5-EG08K-Y1 003600    接近开关    Turck
NI8-EM18-VP4X-H1141 S-NR: 1561901    接近开关    Turck
LP60S 14 WEGE Artikel.6261637(345)    滑环    Stemmann
LP60SL 40 WEGE Artikel.6262274(345)    滑环    Stemmann
NM701NR3    编码器    Konecranes GmbH
XPSAV11113    安全模块    emecanique
XPSAC5121    安全模块    emecanique
XPSECME5131C    安全模块    emecanique
RVM-008GM300    流量开关    Honsberg
8.5850.1241.G102    编码器    KUEBLER
K542 Artikel:254200998    马达    Gefeg-neckar
MTO-2-55-EA7    马达    Jahns
SL3003/X1/GS80/K/01    编码器    FSG
33G7-77-S-35    流量计    HYDROTECHNIK
3107-00-S-26.00 HYDROTECHNIK    流量传感器    HYDROTECHNIK
ADZ-SML-10.0 (0…100)bar 0.25% G1/4"    压力传感器    ADZ NAGANO GmbH
EVL 12 3603 L7 W 110    电子镇流器    eckerle
774549 PNOZ X13 24VDC 5n/o 1n/c    控制器    PILZ
774606 PNOZ X9 200-230VAC 24VDC 7n/o 2n/c 2so    控制器    PILZ
MAYR Art.-Nr.:7017231    电磁离合器    Mayr
9407-998-00031    有接头电缆    PMA Prozess- und Maschinen-Automation GmbH
HD 650 D    封口机    Hawo
SealCheck med Art. Nr. 6.061.017    封口机附件    Hawo
6ES7960-1AA00-0XA0    模块    SIEMENS
UPA2,0-400bar,No.0431-314    压力传感器    BARKSDALE
ADW4M11    模块    Schneider Electric Energy GmbH
XD2CG1111    模块    Schneider Electric Energy GmbH
XCSM3715L2    模块    Schneider Electric Energy GmbH
60110    模块    Schneider Electric Energy GmbH
60106    模块    Schneider Electric Energy GmbH
PGH474 B95018012    绝缘故障测试仪    Bender
901.21111L4    压力测试单元    Beck GmbH
IKL015.38GS4    接近开关    Proxitron
RZMO-TERS-PS-030-100    阀门    ATOS
DP-3113    阀门    ATOS
ERZLK-28-300    机械密封    RENK
ERZLQ-28-300    机械密封    RENK
EFK2-008HK028(1-150cm/s) relay contact(NO)    流量开关    Honsberg
8499720.9169.024.00    电磁阀    Buschjost
PWF 1/60 PT-100 2000AS    压力变送器    Ihne&Tesch
IRDH275-435,AC88-264V    绝缘监测仪    Bender
9243    放大器    Burster Praezisionsmesstechnik GmbH & Co KG
KAS-80-A13-A-K-PTFE-Y3    接近开关    Rechner
Artikel-Nr.170M7907 1250V / 2500A Gr.4SBKN/105    模块    bussmann
3LD21654VD51    压力开关    SIEMENS
AN450    电源模块    Bender
107TD47    绝缘监视仪    Bender
STW2    电流互感器    Bender
ES710/8000    隔离变压器    Bender
2470.10.11    气弹簧    Fibro
2470.12.010.017    气弹簧    Fibro
861-900110-1024    编码器    Leine & Linde
IKZ182.23GH    接近开关    Proxitron
D-175    弹簧    GUTEKUNST
DRE6-1X/100MG24K4M    比例减压阀    Rexroth
4WRZ16E150-70/6EG24N9ETK4D3M    比例换向阀    Rexroth
VPB-B/6/0/0/M3/09/20/20/P    分配器    Woerner
MKSHF 32 / i=12 / BA70 Artikel-Nummer：298239    齿轮箱    Vogel
MKSHF 32 / i=12 / BA70 Artikel-Nummer：298240    齿轮箱    Vogel
FNL DP/DPV1Master,NR.4000-7-G04-3    总线模块    COMSOFT
BOS 18KW-PA-1QC-S4-C    光电开关    balluff
16.0650 NR-33KS    放大器    monacor
3BP154.4    总线模块    B&R Industrie-Elektronik GmbH
3IF260.60-1    总线模块    B&R Industrie-Elektronik GmbH
7AT352.70    总线模块    B&R Industrie-Elektronik GmbH
3IF671.9    总线模块    B&R Industrie-Elektronik GmbH
901.66111L4    压力开关    Beck GmbH
562150 KS-250-M22 mit 5 m Kabel    传感器    Rechner
OD131051300000    阀    Rexroth
OD02170130OC    接头    Rexroth
VT-VRRA1-527-20/V0/2STV    放大板    Rexroth
MK2418-12 B923794    报警显示和测试单元    Bender
RCMS471-12 B94052006    剩余电流评估仪    Bender
B911787 W0-S20    互感器    Bender
38022    PROFIBUS网络检测仪    PROCENTEC GmbH
HDA 3845-A-400-000    压力变送器    hydac
nr.71070121 TRUMPF Stempel fuer TruTool N500    工具件    HAHN+KOLB
83731 3Mcable    接近开关    CROUZET
ENI 38E.1262.1000.1M    编码器    MICRONOR
art nr.40183    压力传感器    STW
EK703USOM140，904817    减速电机    Stoeber
EK501USOM140 903649    减速电机    Stoeber
SPANNEINHEIT SEH100/850IK(1026437)    工件夹具    Rohm GmbH
6GT2398-1CA00    读取头    SIEMENS
1A200MG4018PP DN04/06;G1/8``    接头    EM-TECHNIK
1A200MG4318PP DN06/08;G1/8``    接头    EM-TECHNIK
1A200MG4538PP DN08/10;G3/8``    接头    EM-TECHNIK
1A200MG4314PP DN06/08;G1/4``    接头    EM-TECHNIK
1A200MG4014PP DN04/06;G1/4``    接头    EM-TECHNIK
1A200MG4514PP DN08/10;G1/4``    接头    EM-TECHNIK
MSD1/625S20-1L01    编码器    TWK
533631-03    有接头电缆    heidenhain
9407-9240-0001    温度控制器    PMA
Nr21080008 OLV554001A00    模块    kendrion
0100 S 125 W    滤芯    hydac
0660 R 020 BN4HC    滤芯    hydac
0660 D 010 BH4HC order 253106    滤芯    hydac
VM-025GR060 setting 20l/min 320mm2/s Art. Nr. 945196    流量计    Honsberg
AB7632-C    通讯模块    anybus
AB9006-B    通讯模块    anybus
0240 D005 BN4HC    滤芯    hydac
0660 D 003 BN4HC    滤芯    hydac
XD2PA22    摇杆开关    emecanique
XD2PA24    摇杆开关    emecanique
FPM 27 355-053-01 95770090    电源    Kniel
E-ME-AC-01F    放大器    ATOS
AGRCZO-A-010/315+SP-666    液压阀    ATOS
AGMZO-A-010/350+SP-666    液压阀    ATOS
LIMHA-3/350 -24VDC+SP-667    液压阀    ATOS
SCLI-32-35/6    液压阀    ATOS
LIDD-3    液压阀    ATOS
SCLI-32-32/2    液压阀    ATOS
AGRCZO-A-010/100+SP-666    液压阀    ATOS
DHZO-TE-071-L5    液压阀    ATOS
2600 R 010 BN4HC    滤芯    hydac
0660 R 005 BN4HC    滤芯    hydac
0950 R 005 BN4HC    滤芯    hydac
2600 R 003 BN4HC    滤芯    hydac
2600 R 003 BN4HC    滤芯    hydac
0500 D 010 BN4HC    滤芯    hydac
0660 D 005 BN4HC    滤芯    hydac
1300 R 020 BN4HC    滤芯    hydac
2600 R 003 BN4HC    滤芯    hydac
2600 R 003 BN4HC    滤芯    hydac
0500 D 005 BN4HC    滤芯    hydac
0950 R 003 BN4HC    滤芯    hydac
1300 R 010 BN4HC    滤芯    hydac
2600 R 005 BN4HC    滤芯    hydac
0240 D 003 BN4HC    滤芯    hydac
AIN1/410ca-1.60-230VAC 1A(E2)    继电器    Klaschka
AIN1/410ca-1.60-230VAC 5A(E1)    继电器    Klaschka
1635523BI5U-Q12-AN6X2    接近开关    Turck
1635523BI5U-Q12-AN6X2    接近开关    Turck
E-1048-S602-DC24V-2A    电子开关    ETA
17-P10-Si    插座    ETA
FCV7-10-S-0-NV M849    安全阀    Vickers
PI 2005-057    过滤器    Mahle
BI20-CP40-VP4X2 Nr:15692    接近开关    Turck
SGDH-30DE-OY(400V)    电源模块    OMRON
E3-10/DO46-141L 211194-1    电机    BAUER
MGB-L1-APA-AA6A1-S3-R-110585    安全开关    Euchner
MGB-H-AA1A1-R-100464    安全开关    Euchner
PV023R1K1T1NMF1    柱塞泵    parker
Artikel 003290 Pneumatikantrieb DR00060    执行器    LIAG
550 20 D17 37 5 1 3G1    阀门    Gemue
DCM3-217B-S    压力开关    FEMA
S25-GL15,A,Oil,6-30 L/Min    流量计    Eletta Flow
433718    卡盘    Roehm GmbH
TMIW-2    温度传感器    Fonovits
QT20.241    电源    Puls
LS 177 1140,ID:605352-37    光栅尺    heidenhain
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LS 177 740,ID:605352-31    光栅尺    heidenhain
0TB014 01, ID:354319-08    电缆    heidenhain
LF 183 340,ID:348225-29    光栅尺    heidenhain
APK 02 05,ID:310127-06    电缆    heidenhain
IBV 102 TTLx50,ID:536422-20    光栅尺    heidenhain
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RON 275 18000，ID:358698-69    光栅尺    heidenhain
Ringmutter M 1.4104，ID:336669-03    安装附件    heidenhain
02B012 01,ID:309777-06    电缆    heidenhain
0110 D 010 BH4HC    滤芯    hydac

。标尺光栅一般固定在机床固定部件上，光栅读数头装在机床活动部件上，指示光栅装在光栅读数头中。右图所示的就是光栅尺的结构。

光栅检测装置的关键部分是光栅读数头，它由光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件及调整机构等组成。光栅读数头结构形式很多，根据读数头结构特点和使用场合分为直接接收式读数头(或称硅光电池读数头、镜像式读数头、分光镜式读数头、金属光栅反射式读数头）。

 光栅检测装置

光栅尺工作原理
编辑

光栅尺莫尔条纹
以透射光栅为例，当指示光栅上的线纹和标尺光栅上的线纹之间形成一个小角度θ，并且两个光栅尺刻面相对平行放置时，在光源的照射下，位于几乎垂直的栅纹上，形成明暗相间的条纹。这种条纹称为“莫尔条纹” (右图所示)。严格地说，莫尔条纹排列的方向是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直。莫尔条纹中两条亮纹或两条暗纹之间的距离称为莫尔条纹的宽度，以W表示。

 莫尔条纹

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

莫尔条纹具有以下特征：

(1)莫尔条纹的变化规律

两片光栅相对移过一个栅距，莫尔条纹移过一个条纹距离。由于光的衍射与干涉作用，莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数，变化周期数与光栅相对位移的栅距数同步。

(2)放大作用

在两光栅栅线夹角较小的情况下，莫尔条纹宽度W和光栅栅距ω、栅线角θ之间有下列关系。式中，θ的单位为rad，W的单位为mm。由于倾角很小，sinθ很小，则

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad，则上式可得W=1，即光栅放大了100倍。

(3)均化误差作用

莫尔条纹是由若干光栅条纹共用形成，例如每毫米100线的光栅，10mm宽度的莫尔条纹就有1000条线纹，这样栅距之间的相邻误差就被平均化了，消除了由于栅距不均匀、断裂等造成的误差。

光栅尺检测与数据处理
电子细分与判向法

光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵，且制造困难。为了提高系统分辨率，需要对莫尔条纹进行细分，光栅尺传感器系统多采用电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，随着光栅的移动，莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。

在一个莫尔条纹宽度内，按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与判向功能。例如，栅线为50线对/mm的光栅尺，其光栅栅距为0.02mm，若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲，这在工业普通测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量，即要检测其大小，又要检测其方向，因此至少需要两路相位不同的光电信号。为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波，通常采用由低漂移运放构成的差分放大器。由4个光敏器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端，从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2，为得到判向和计数脉冲，需对这两路信号进行整形，首先把它们整形为占空比为1：1的方波。然后，通过对方波的相位进行判别比较，就可以得到光栅尺的移动方向。通过对方波脉冲进行计数，可以得到光栅尺的位移和速度 [1]  。

光栅尺安装指导
编辑

光栅尺线位移传感器的安装比较灵活，可安装在机床的不同部位。

一般将主尺安装在机床的工作台（滑板）上，随机床走刀而动，读数头固定在床身上，尽可能使读数头安装在主尺的下方。其安装方式的选择必须注意切屑、切削液及油液的溅落方向。如果由于安装位置限制必须采用读数头朝上的方式安装时，则必须增加辅助密封装置。另外，一般情况下，读数头应尽量安装在相对机床静止部件上，此时输出导线不移动易固定，而尺身则应安装在相对机床运动的部件上（如滑板）。

1、光栅尺线位移传感器安装基面

安装光栅尺传感器时，不能直接将传感器安装在粗糙不平的机床身上，更不能安装在打底涂漆的机床身上。光栅主尺及读数头分别安装在机床相对运动的两个部件上。用千分表检查机床工作台的主尺安装面与导轨运动的方向平行度。千分表固定在床身上，移动工作台，要求达到平行度为0.1mm/1000mm以内。如果不能达到这个要求，则需设计加工一件光栅尺基座。

基座要求做到：(1)应加一根与光栅尺尺身长度相等的基座（好基座长出光栅尺50mm左右）。(2)该基座通过铣、磨工序加工，保证其平面平行度0.1mm/1000mm以内。另外，还需加工一件与尺身基座等高的读数头基座。读数头的基座与尺身的基座总共误差不得大于±0.2mm。安装时，调整读数头位置，达到读数头与光栅尺尺身的平行度为0.1mm左右，读数头与光栅尺尺身之间的间距为1~1.5mm左右。

2、光栅尺线位移传感器主尺安装

将光栅主尺用M4螺钉上在机床安装的工作台安装面上，但不要上紧，把千分表固定在床身上，移动工作台（主尺与工作台同时移动）。用千分表测量主尺平面与机床导轨运动方向的平行度，调整主尺M4螺钉位置，使主尺平行度满足0.1mm/1000mm以内时，把M2螺钉*上紧。

在安装光栅主尺时，应注意如下三点：

(1) 在装主尺时，如安装超过1.5M以上的光栅时，不能象桥梁式只安装两端头，尚需在整个主尺尺身中有支撑。(2)在有基座情况下安装好后，好用一个卡子卡住尺身中点（或几点）。(3)不能安装卡子时，好用玻璃胶粘住光栅尺身，使基尺与主尺固定好。

3、光栅尺线位移传感器读数头的安装

在安装读数头时，首先应保证读数头的基面达到安装要求，然后再安装读数头，其安装方法与主尺相似。后调整读数头，使读数头与光栅主尺平行度保证在0.1mm之内，其读数头与主尺的间隙控制在1~1.5mm以内。

4、光栅尺线位移传感器限位装置

光栅线位移传感器全部安装完以后，一定要在机床导轨上安装限位装置，以免机床加工产品移动时读数头冲撞到主尺两端，从而损坏光栅尺。另外，用户在选购光栅线位移传感器时，应尽量选用超出机床加工尺寸100mm左右的光栅尺，以留有余量。

5、光栅尺线位移传感器检查

光栅线位移传感器安装完毕后，可接通数显表，移动工作台，观察数显表计数是否正常。

在机床上选取一个参考位置，来回移动工作点至该选取的位置。数显表读数应相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表与数显表同时调至零（或记忆起始数据），往返多次后回到初始位置，观察数显表与千分表的数据是否*。

通过以上工作，光栅尺线位移传感器的安装就完成了。但对于一般的机床加工环境来讲，铁屑、切削液及油污较多。因此，传感器应附带加装护罩，护罩的设计是按照传感器的外形截面放大留一定的空间尺寸确定，护罩通常采用橡皮密封，使其具备一定的防水防油能力 [2]  。。标尺光栅一般固定在机床固定部件上，光栅读数头装在机床活动部件上，指示光栅装在光栅读数头中。右图所示的就是光栅尺的结构。

光栅检测装置的关键部分是光栅读数头，它由光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件及调整机构等组成。光栅读数头结构形式很多，根据读数头结构特点和使用场合分为直接接收式读数头(或称硅光电池读数头、镜像式读数头、分光镜式读数头、金属光栅反射式读数头）。

 光栅检测装置

光栅尺工作原理
编辑

光栅尺莫尔条纹
以透射光栅为例，当指示光栅上的线纹和标尺光栅上的线纹之间形成一个小角度θ，并且两个光栅尺刻面相对平行放置时，在光源的照射下，位于几乎垂直的栅纹上，形成明暗相间的条纹。这种条纹称为“莫尔条纹” (右图所示)。严格地说，莫尔条纹排列的方向是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直。莫尔条纹中两条亮纹或两条暗纹之间的距离称为莫尔条纹的宽度，以W表示。

 莫尔条纹

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

莫尔条纹具有以下特征：

(1)莫尔条纹的变化规律

两片光栅相对移过一个栅距，莫尔条纹移过一个条纹距离。由于光的衍射与干涉作用，莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数，变化周期数与光栅相对位移的栅距数同步。

(2)放大作用

在两光栅栅线夹角较小的情况下，莫尔条纹宽度W和光栅栅距ω、栅线角θ之间有下列关系。式中，θ的单位为rad，W的单位为mm。由于倾角很小，sinθ很小，则

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad，则上式可得W=1，即光栅放大了100倍。

(3)均化误差作用

莫尔条纹是由若干光栅条纹共用形成，例如每毫米100线的光栅，10mm宽度的莫尔条纹就有1000条线纹，这样栅距之间的相邻误差就被平均化了，消除了由于栅距不均匀、断裂等造成的误差。

光栅尺检测与数据处理
电子细分与判向法

光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵，且制造困难。为了提高系统分辨率，需要对莫尔条纹进行细分，光栅尺传感器系统多采用电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，随着光栅的移动，莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。

在一个莫尔条纹宽度内，按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与判向功能。例如，栅线为50线对/mm的光栅尺，其光栅栅距为0.02mm，若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲，这在工业普通测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量，即要检测其大小，又要检测其方向，因此至少需要两路相位不同的光电信号。为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波，通常采用由低漂移运放构成的差分放大器。由4个光敏器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端，从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2，为得到判向和计数脉冲，需对这两路信号进行整形，首先把它们整形为占空比为1：1的方波。然后，通过对方波的相位进行判别比较，就可以得到光栅尺的移动方向。通过对方波脉冲进行计数，可以得到光栅尺的位移和速度 [1]  。

光栅尺安装指导
编辑

光栅尺线位移传感器的安装比较灵活，可安装在机床的不同部位。

一般将主尺安装在机床的工作台（滑板）上，随机床走刀而动，读数头固定在床身上，尽可能使读数头安装在主尺的下方。其安装方式的选择必须注意切屑、切削液及油液的溅落方向。如果由于安装位置限制必须采用读数头朝上的方式安装时，则必须增加辅助密封装置。另外，一般情况下，读数头应尽量安装在相对机床静止部件上，此时输出导线不移动易固定，而尺身则应安装在相对机床运动的部件上（如滑板）。

1、光栅尺线位移传感器安装基面

安装光栅尺传感器时，不能直接将传感器安装在粗糙不平的机床身上，更不能安装在打底涂漆的机床身上。光栅主尺及读数头分别安装在机床相对运动的两个部件上。用千分表检查机床工作台的主尺安装面与导轨运动的方向平行度。千分表固定在床身上，移动工作台，要求达到平行度为0.1mm/1000mm以内。如果不能达到这个要求，则需设计加工一件光栅尺基座。

基座要求做到：(1)应加一根与光栅尺尺身长度相等的基座（好基座长出光栅尺50mm左右）。(2)该基座通过铣、磨工序加工，保证其平面平行度0.1mm/1000mm以内。另外，还需加工一件与尺身基座等高的读数头基座。读数头的基座与尺身的基座总共误差不得大于±0.2mm。安装时，调整读数头位置，达到读数头与光栅尺尺身的平行度为0.1mm左右，读数头与光栅尺尺身之间的间距为1~1.5mm左右。

2、光栅尺线位移传感器主尺安装

将光栅主尺用M4螺钉上在机床安装的工作台安装面上，但不要上紧，把千分表固定在床身上，移动工作台（主尺与工作台同时移动）。用千分表测量主尺平面与机床导轨运动方向的平行度，调整主尺M4螺钉位置，使主尺平行度满足0.1mm/1000mm以内时，把M2螺钉*上紧。

在安装光栅主尺时，应注意如下三点：

(1) 在装主尺时，如安装超过1.5M以上的光栅时，不能象桥梁式只安装两端头，尚需在整个主尺尺身中有支撑。(2)在有基座情况下安装好后，好用一个卡子卡住尺身中点（或几点）。(3)不能安装卡子时，好用玻璃胶粘住光栅尺身，使基尺与主尺固定好。

3、光栅尺线位移传感器读数头的安装

在安装读数头时，首先应保证读数头的基面达到安装要求，然后再安装读数头，其安装方法与主尺相似。后调整读数头，使读数头与光栅主尺平行度保证在0.1mm之内，其读数头与主尺的间隙控制在1~1.5mm以内。

4、光栅尺线位移传感器限位装置

光栅线位移传感器全部安装完以后，一定要在机床导轨上安装限位装置，以免机床加工产品移动时读数头冲撞到主尺两端，从而损坏光栅尺。另外，用户在选购光栅线位移传感器时，应尽量选用超出机床加工尺寸100mm左右的光栅尺，以留有余量。

5、光栅尺线位移传感器检查

光栅线位移传感器安装完毕后，可接通数显表，移动工作台，观察数显表计数是否正常。

在机床上选取一个参考位置，来回移动工作点至该选取的位置。数显表读数应相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表与数显表同时调至零（或记忆起始数据），往返多次后回到初始位置，观察数显表与千分表的数据是否*。

通过以上工作，光栅尺线位移传感器的安装就完成了。但对于一般的机床加工环境来讲，铁屑、切削液及油污较多。因此，传感器应附带加装护罩，护罩的设计是按照传感器的外形截面放大留一定的空间尺寸确定，护罩通常采用橡皮密封，使其具备一定的防水防油能力 [2]  。。标尺光栅一般固定在机床固定部件上，光栅读数头装在机床活动部件上，指示光栅装在光栅读数头中。右图所示的就是光栅尺的结构。

光栅检测装置的关键部分是光栅读数头，它由光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件及调整机构等组成。光栅读数头结构形式很多，根据读数头结构特点和使用场合分为直接接收式读数头(或称硅光电池读数头、镜像式读数头、分光镜式读数头、金属光栅反射式读数头）。

 光栅检测装置

光栅尺工作原理
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光栅尺莫尔条纹
以透射光栅为例，当指示光栅上的线纹和标尺光栅上的线纹之间形成一个小角度θ，并且两个光栅尺刻面相对平行放置时，在光源的照射下，位于几乎垂直的栅纹上，形成明暗相间的条纹。这种条纹称为“莫尔条纹” (右图所示)。严格地说，莫尔条纹排列的方向是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直。莫尔条纹中两条亮纹或两条暗纹之间的距离称为莫尔条纹的宽度，以W表示。

 莫尔条纹

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

莫尔条纹具有以下特征：

(1)莫尔条纹的变化规律

两片光栅相对移过一个栅距，莫尔条纹移过一个条纹距离。由于光的衍射与干涉作用，莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数，变化周期数与光栅相对位移的栅距数同步。

(2)放大作用

在两光栅栅线夹角较小的情况下，莫尔条纹宽度W和光栅栅距ω、栅线角θ之间有下列关系。式中，θ的单位为rad，W的单位为mm。由于倾角很小，sinθ很小，则

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad，则上式可得W=1，即光栅放大了100倍。

(3)均化误差作用

莫尔条纹是由若干光栅条纹共用形成，例如每毫米100线的光栅，10mm宽度的莫尔条纹就有1000条线纹，这样栅距之间的相邻误差就被平均化了，消除了由于栅距不均匀、断裂等造成的误差。

光栅尺检测与数据处理
电子细分与判向法

光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵，且制造困难。为了提高系统分辨率，需要对莫尔条纹进行细分，光栅尺传感器系统多采用电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，随着光栅的移动，莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。

在一个莫尔条纹宽度内，按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与判向功能。例如，栅线为50线对/mm的光栅尺，其光栅栅距为0.02mm，若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲，这在工业普通测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量，即要检测其大小，又要检测其方向，因此至少需要两路相位不同的光电信号。为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波，通常采用由低漂移运放构成的差分放大器。由4个光敏器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端，从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2，为得到判向和计数脉冲，需对这两路信号进行整形，首先把它们整形为占空比为1：1的方波。然后，通过对方波的相位进行判别比较，就可以得到光栅尺的移动方向。通过对方波脉冲进行计数，可以得到光栅尺的位移和速度 [1]  。

光栅尺安装指导
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光栅尺线位移传感器的安装比较灵活，可安装在机床的不同部位。

一般将主尺安装在机床的工作台（滑板）上，随机床走刀而动，读数头固定在床身上，尽可能使读数头安装在主尺的下方。其安装方式的选择必须注意切屑、切削液及油液的溅落方向。如果由于安装位置限制必须采用读数头朝上的方式安装时，则必须增加辅助密封装置。另外，一般情况下，读数头应尽量安装在相对机床静止部件上，此时输出导线不移动易固定，而尺身则应安装在相对机床运动的部件上（如滑板）。

1、光栅尺线位移传感器安装基面

安装光栅尺传感器时，不能直接将传感器安装在粗糙不平的机床身上，更不能安装在打底涂漆的机床身上。光栅主尺及读数头分别安装在机床相对运动的两个部件上。用千分表检查机床工作台的主尺安装面与导轨运动的方向平行度。千分表固定在床身上，移动工作台，要求达到平行度为0.1mm/1000mm以内。如果不能达到这个要求，则需设计加工一件光栅尺基座。

基座要求做到：(1)应加一根与光栅尺尺身长度相等的基座（好基座长出光栅尺50mm左右）。(2)该基座通过铣、磨工序加工，保证其平面平行度0.1mm/1000mm以内。另外，还需加工一件与尺身基座等高的读数头基座。读数头的基座与尺身的基座总共误差不得大于±0.2mm。安装时，调整读数头位置，达到读数头与光栅尺尺身的平行度为0.1mm左右，读数头与光栅尺尺身之间的间距为1~1.5mm左右。

2、光栅尺线位移传感器主尺安装

将光栅主尺用M4螺钉上在机床安装的工作台安装面上，但不要上紧，把千分表固定在床身上，移动工作台（主尺与工作台同时移动）。用千分表测量主尺平面与机床导轨运动方向的平行度，调整主尺M4螺钉位置，使主尺平行度满足0.1mm/1000mm以内时，把M2螺钉*上紧。

在安装光栅主尺时，应注意如下三点：

(1) 在装主尺时，如安装超过1.5M以上的光栅时，不能象桥梁式只安装两端头，尚需在整个主尺尺身中有支撑。(2)在有基座情况下安装好后，好用一个卡子卡住尺身中点（或几点）。(3)不能安装卡子时，好用玻璃胶粘住光栅尺身，使基尺与主尺固定好。

3、光栅尺线位移传感器读数头的安装

在安装读数头时，首先应保证读数头的基面达到安装要求，然后再安装读数头，其安装方法与主尺相似。后调整读数头，使读数头与光栅主尺平行度保证在0.1mm之内，其读数头与主尺的间隙控制在1~1.5mm以内。

4、光栅尺线位移传感器限位装置

光栅线位移传感器全部安装完以后，一定要在机床导轨上安装限位装置，以免机床加工产品移动时读数头冲撞到主尺两端，从而损坏光栅尺。另外，用户在选购光栅线位移传感器时，应尽量选用超出机床加工尺寸100mm左右的光栅尺，以留有余量。

5、光栅尺线位移传感器检查

光栅线位移传感器安装完毕后，可接通数显表，移动工作台，观察数显表计数是否正常。

在机床上选取一个参考位置，来回移动工作点至该选取的位置。数显表读数应相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表与数显表同时调至零（或记忆起始数据），往返多次后回到初始位置，观察数显表与千分表的数据是否*。

通过以上工作，光栅尺线位移传感器的安装就完成了。但对于一般的机床加工环境来讲，铁屑、切削液及油污较多。因此，传感器应附带加装护罩，护罩的设计是按照传感器的外形截面放大留一定的空间尺寸确定，护罩通常采用橡皮密封，使其具备一定的防水防油能力 [2]  。。标尺光栅一般固定在机床固定部件上，光栅读数头装在机床活动部件上，指示光栅装在光栅读数头中。右图所示的就是光栅尺的结构。

光栅检测装置的关键部分是光栅读数头，它由光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件及调整机构等组成。光栅读数头结构形式很多，根据读数头结构特点和使用场合分为直接接收式读数头(或称硅光电池读数头、镜像式读数头、分光镜式读数头、金属光栅反射式读数头）。

 光栅检测装置

光栅尺工作原理
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光栅尺莫尔条纹
以透射光栅为例，当指示光栅上的线纹和标尺光栅上的线纹之间形成一个小角度θ，并且两个光栅尺刻面相对平行放置时，在光源的照射下，位于几乎垂直的栅纹上，形成明暗相间的条纹。这种条纹称为“莫尔条纹” (右图所示)。严格地说，莫尔条纹排列的方向是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直。莫尔条纹中两条亮纹或两条暗纹之间的距离称为莫尔条纹的宽度，以W表示。

 莫尔条纹

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

莫尔条纹具有以下特征：

(1)莫尔条纹的变化规律

两片光栅相对移过一个栅距，莫尔条纹移过一个条纹距离。由于光的衍射与干涉作用，莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数，变化周期数与光栅相对位移的栅距数同步。

(2)放大作用

在两光栅栅线夹角较小的情况下，莫尔条纹宽度W和光栅栅距ω、栅线角θ之间有下列关系。式中，θ的单位为rad，W的单位为mm。由于倾角很小，sinθ很小，则

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad，则上式可得W=1，即光栅放大了100倍。

(3)均化误差作用

莫尔条纹是由若干光栅条纹共用形成，例如每毫米100线的光栅，10mm宽度的莫尔条纹就有1000条线纹，这样栅距之间的相邻误差就被平均化了，消除了由于栅距不均匀、断裂等造成的误差。

光栅尺检测与数据处理
电子细分与判向法

光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵，且制造困难。为了提高系统分辨率，需要对莫尔条纹进行细分，光栅尺传感器系统多采用电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，随着光栅的移动，莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。

在一个莫尔条纹宽度内，按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与判向功能。例如，栅线为50线对/mm的光栅尺，其光栅栅距为0.02mm，若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲，这在工业普通测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量，即要检测其大小，又要检测其方向，因此至少需要两路相位不同的光电信号。为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波，通常采用由低漂移运放构成的差分放大器。由4个光敏器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端，从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2，为得到判向和计数脉冲，需对这两路信号进行整形，首先把它们整形为占空比为1：1的方波。然后，通过对方波的相位进行判别比较，就可以得到光栅尺的移动方向。通过对方波脉冲进行计数，可以得到光栅尺的位移和速度 [1]  。

光栅尺安装指导
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光栅尺线位移传感器的安装比较灵活，可安装在机床的不同部位。

一般将主尺安装在机床的工作台（滑板）上，随机床走刀而动，读数头固定在床身上，尽可能使读数头安装在主尺的下方。其安装方式的选择必须注意切屑、切削液及油液的溅落方向。如果由于安装位置限制必须采用读数头朝上的方式安装时，则必须增加辅助密封装置。另外，一般情况下，读数头应尽量安装在相对机床静止部件上，此时输出导线不移动易固定，而尺身则应安装在相对机床运动的部件上（如滑板）。

1、光栅尺线位移传感器安装基面

安装光栅尺传感器时，不能直接将传感器安装在粗糙不平的机床身上，更不能安装在打底涂漆的机床身上。光栅主尺及读数头分别安装在机床相对运动的两个部件上。用千分表检查机床工作台的主尺安装面与导轨运动的方向平行度。千分表固定在床身上，移动工作台，要求达到平行度为0.1mm/1000mm以内。如果不能达到这个要求，则需设计加工一件光栅尺基座。

基座要求做到：(1)应加一根与光栅尺尺身长度相等的基座（好基座长出光栅尺50mm左右）。(2)该基座通过铣、磨工序加工，保证其平面平行度0.1mm/1000mm以内。另外，还需加工一件与尺身基座等高的读数头基座。读数头的基座与尺身的基座总共误差不得大于±0.2mm。安装时，调整读数头位置，达到读数头与光栅尺尺身的平行度为0.1mm左右，读数头与光栅尺尺身之间的间距为1~1.5mm左右。

2、光栅尺线位移传感器主尺安装

将光栅主尺用M4螺钉上在机床安装的工作台安装面上，但不要上紧，把千分表固定在床身上，移动工作台（主尺与工作台同时移动）。用千分表测量主尺平面与机床导轨运动方向的平行度，调整主尺M4螺钉位置，使主尺平行度满足0.1mm/1000mm以内时，把M2螺钉*上紧。

在安装光栅主尺时，应注意如下三点：

(1) 在装主尺时，如安装超过1.5M以上的光栅时，不能象桥梁式只安装两端头，尚需在整个主尺尺身中有支撑。(2)在有基座情况下安装好后，好用一个卡子卡住尺身中点（或几点）。(3)不能安装卡子时，好用玻璃胶粘住光栅尺身，使基尺与主尺固定好。

3、光栅尺线位移传感器读数头的安装

在安装读数头时，首先应保证读数头的基面达到安装要求，然后再安装读数头，其安装方法与主尺相似。后调整读数头，使读数头与光栅主尺平行度保证在0.1mm之内，其读数头与主尺的间隙控制在1~1.5mm以内。

4、光栅尺线位移传感器限位装置

光栅线位移传感器全部安装完以后，一定要在机床导轨上安装限位装置，以免机床加工产品移动时读数头冲撞到主尺两端，从而损坏光栅尺。另外，用户在选购光栅线位移传感器时，应尽量选用超出机床加工尺寸100mm左右的光栅尺，以留有余量。

5、光栅尺线位移传感器检查

光栅线位移传感器安装完毕后，可接通数显表，移动工作台，观察数显表计数是否正常。

在机床上选取一个参考位置，来回移动工作点至该选取的位置。数显表读数应相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表与数显表同时调至零（或记忆起始数据），往返多次后回到初始位置，观察数显表与千分表的数据是否*。

通过以上工作，光栅尺线位移传感器的安装就完成了。但对于一般的机床加工环境来讲，铁屑、切削液及油污较多。因此，传感器应附带加装护罩，护罩的设计是按照传感器的外形截面放大留一定的空间尺寸确定，护罩通常采用橡皮密封，使其具备一定的防水防油能力 [2]  。。标尺光栅一般固定在机床固定部件上，光栅读数头装在机床活动部件上，指示光栅装在光栅读数头中。右图所示的就是光栅尺的结构。

光栅检测装置的关键部分是光栅读数头，它由光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件及调整机构等组成。光栅读数头结构形式很多，根据读数头结构特点和使用场合分为直接接收式读数头(或称硅光电池读数头、镜像式读数头、分光镜式读数头、金属光栅反射式读数头）。

 光栅检测装置

光栅尺工作原理
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光栅尺莫尔条纹
以透射光栅为例，当指示光栅上的线纹和标尺光栅上的线纹之间形成一个小角度θ，并且两个光栅尺刻面相对平行放置时，在光源的照射下，位于几乎垂直的栅纹上，形成明暗相间的条纹。这种条纹称为“莫尔条纹” (右图所示)。严格地说，莫尔条纹排列的方向是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直。莫尔条纹中两条亮纹或两条暗纹之间的距离称为莫尔条纹的宽度，以W表示。

 莫尔条纹

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

莫尔条纹具有以下特征：

(1)莫尔条纹的变化规律

两片光栅相对移过一个栅距，莫尔条纹移过一个条纹距离。由于光的衍射与干涉作用，莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数，变化周期数与光栅相对位移的栅距数同步。

(2)放大作用

在两光栅栅线夹角较小的情况下，莫尔条纹宽度W和光栅栅距ω、栅线角θ之间有下列关系。式中，θ的单位为rad，W的单位为mm。由于倾角很小，sinθ很小，则

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad，则上式可得W=1，即光栅放大了100倍。

(3)均化误差作用

莫尔条纹是由若干光栅条纹共用形成，例如每毫米100线的光栅，10mm宽度的莫尔条纹就有1000条线纹，这样栅距之间的相邻误差就被平均化了，消除了由于栅距不均匀、断裂等造成的误差。

光栅尺检测与数据处理
电子细分与判向法

光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵，且制造困难。为了提高系统分辨率，需要对莫尔条纹进行细分，光栅尺传感器系统多采用电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，随着光栅的移动，莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。

在一个莫尔条纹宽度内，按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与判向功能。例如，栅线为50线对/mm的光栅尺，其光栅栅距为0.02mm，若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲，这在工业普通测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量，即要检测其大小，又要检测其方向，因此至少需要两路相位不同的光电信号。为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波，通常采用由低漂移运放构成的差分放大器。由4个光敏器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端，从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2，为得到判向和计数脉冲，需对这两路信号进行整形，首先把它们整形为占空比为1：1的方波。然后，通过对方波的相位进行判别比较，就可以得到光栅尺的移动方向。通过对方波脉冲进行计数，可以得到光栅尺的位移和速度 [1]  。

光栅尺安装指导
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光栅尺线位移传感器的安装比较灵活，可安装在机床的不同部位。

一般将主尺安装在机床的工作台（滑板）上，随机床走刀而动，读数头固定在床身上，尽可能使读数头安装在主尺的下方。其安装方式的选择必须注意切屑、切削液及油液的溅落方向。如果由于安装位置限制必须采用读数头朝上的方式安装时，则必须增加辅助密封装置。另外，一般情况下，读数头应尽量安装在相对机床静止部件上，此时输出导线不移动易固定，而尺身则应安装在相对机床运动的部件上（如滑板）。

1、光栅尺线位移传感器安装基面

安装光栅尺传感器时，不能直接将传感器安装在粗糙不平的机床身上，更不能安装在打底涂漆的机床身上。光栅主尺及读数头分别安装在机床相对运动的两个部件上。用千分表检查机床工作台的主尺安装面与导轨运动的方向平行度。千分表固定在床身上，移动工作台，要求达到平行度为0.1mm/1000mm以内。如果不能达到这个要求，则需设计加工一件光栅尺基座。

基座要求做到：(1)应加一根与光栅尺尺身长度相等的基座（好基座长出光栅尺50mm左右）。(2)该基座通过铣、磨工序加工，保证其平面平行度0.1mm/1000mm以内。另外，还需加工一件与尺身基座等高的读数头基座。读数头的基座与尺身的基座总共误差不得大于±0.2mm。安装时，调整读数头位置，达到读数头与光栅尺尺身的平行度为0.1mm左右，读数头与光栅尺尺身之间的间距为1~1.5mm左右。

2、光栅尺线位移传感器主尺安装

将光栅主尺用M4螺钉上在机床安装的工作台安装面上，但不要上紧，把千分表固定在床身上，移动工作台（主尺与工作台同时移动）。用千分表测量主尺平面与机床导轨运动方向的平行度，调整主尺M4螺钉位置，使主尺平行度满足0.1mm/1000mm以内时，把M2螺钉*上紧。

在安装光栅主尺时，应注意如下三点：

(1) 在装主尺时，如安装超过1.5M以上的光栅时，不能象桥梁式只安装两端头，尚需在整个主尺尺身中有支撑。(2)在有基座情况下安装好后，好用一个卡子卡住尺身中点（或几点）。(3)不能安装卡子时，好用玻璃胶粘住光栅尺身，使基尺与主尺固定好。

3、光栅尺线位移传感器读数头的安装

在安装读数头时，首先应保证读数头的基面达到安装要求，然后再安装读数头，其安装方法与主尺相似。后调整读数头，使读数头与光栅主尺平行度保证在0.1mm之内，其读数头与主尺的间隙控制在1~1.5mm以内。

4、光栅尺线位移传感器限位装置

光栅线位移传感器全部安装完以后，一定要在机床导轨上安装限位装置，以免机床加工产品移动时读数头冲撞到主尺两端，从而损坏光栅尺。另外，用户在选购光栅线位移传感器时，应尽量选用超出机床加工尺寸100mm左右的光栅尺，以留有余量。

GIGAHERTZ-OPTIK 控制模块代理

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5、光栅尺线位移传感器检查

光栅线位移传感器安装完毕后，可接通数显表，移动工作台，观察数显表计数是否正常。

在机床上选取一个参考位置，来回移动工作点至该选取的位置。数显表读数应相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表与数显表同时调至零（或记忆起始数据），往返多次后回到初始位置，观察数显表与千分表的数据是否*。

通过以上工作，光栅尺线位移传感器的安装就完成了。但对于一般的机床加工环境来讲，铁屑、切削液及油污较多。因此，传感器应附带加装护罩，护罩的设计是按照传感器的外形截面放大留一定的空间尺寸确定，护罩通常采用橡皮密封，使其具备一定的防水防油能力 [2]  。