SFT-110 X射线荧光镀层测厚仪

日立高科(前身:日本精工)推出配备自动定位功能的X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110，使操作性进一步提高。

 对半导体材料、电子元器件、汽车部件等的电镀、蒸镀等的金属薄膜和组成进行测量管理，可保证产品的功能及品质，降低成本。精工从1971年*推出非接触、短时间内可进行高精度测量的X射线荧光镀层厚度测量仪以来，已经累计销售6000多台，得到了国内外镀层厚度、金属薄膜测量领域的高度关注和支持。

SFT-110 X射线荧光镀层测厚仪

为了适应日益提高的镀层厚度测量需求，精工开发了配备有自动定位功能的X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110。通过自动定位功能，仅需把样品放置到样品台上，就可在数秒内对样品进行自动对焦。由此，无需进行以往的手动逐次对焦的操作，大大提高了样品测量的操作性。

 近年来，随着检测零件的微小化，对微区的高精度测量的需求日益增多。SFT-110实现微区下的高灵敏度，即使在微小准直器(0.1、0.2mm)下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。并且，配备有新开发的薄膜FP法软件，即使没有厚度标准物质也可进行多达5层10元素的多镀层和合金膜的测量，可对应更广泛的应用需求。

产品特点：

即放即测！ 
通过自动定位功能，放置样品后仅需几秒，便能自动对准观察样品焦点。 
　 
10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量！ 
以的设计实现微小区域下的高灵敏度，即使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度地提高膜厚测量的精度。

无标样测量！ 
将薄膜FP软件进一步扩充，即使没有厚度标准物质也能进行高精度的测量。也可简单地测量多镀层膜和合金膜样品。

通过广域观察系统更方便选择测量位置！ 
通过广域观察系统，能够从画面上的样品整体图（大250×200mm）中方便地测量位置

基本参数：
测量元素:  原子序号22（Ti）～83（Bi） 
X射线源:   空冷式小型X射线管 
检测器:     比例计数管 
准直器:     ○型： 0.1mmφ、0.2mmφ　2种 
样品观察:   CCD摄像头（可进行广域观察） 
对焦:        激光点（自动） 
滤波器：   一次滤波器： 自动切换 
样品台（台式尺寸）:  500(W) x400(D) x 150（H）mm 
（移动量）:  X:250mm, Y:200mm 
操作部:       电脑、19寸液晶 
测量软件:   薄膜FP法 （多5层膜、10种元素）、标准曲线法 
数据处理:   配备有Microsoft® Excel、Microsoft® Word 
安全机构:   样品门连锁、样品的防冲撞功能、仪器诊断功能