经济型扫描电镜是从光学到电子显微镜转换的理想工具。它是高分辨率成像的经济型解决方案,可提供成像结果。具有景深大、分辨率高,成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富,几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。目前,已被广泛应用于生命科学、物理学、化学、司法、地球科学、材料学以及工业生产等领域的微观研究,仅在地球科学方面就包括了结晶学、矿物学、矿床学、沉积学、地球化学、宝石学、微体古生物、天文地质、油气地质、工程地质和构造地质等。
经济型扫描电镜组成:
扫描电镜大致可以分为镜体与电源电路系统两个组成部分。镜体部分主要包括电子光学系统,信号收集与显示系统,真空抽气系统。
(1)电子光学系统
由电子枪,电磁透镜,扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
(2)信号收集及显示系统
检测样品在入射电子作用下产生的物理信号,然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器,它由闪烁体,光导管和光电倍增器所组成。
(3)真空系统
真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作,防止样品污染,一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。
(4)电源系统
电源系统由稳压,稳流及相应的安全保护电路所组成,其作用是提供扫描电镜各部分所需的电源。
经济型扫描电镜的主要性能:
1、放大倍数
在扫描电子显微镜中,放大倍数是通过调节电子束在样品表面扫描的幅度来实现的,在操作过程中,只需改变扫描线圈的驱动电流就可以确定所需的放大倍数。
2、分辨率
分辨率在扫描电子显微镜中具有重要性,其定义在微区成分分析中表示能够分析的较小区域,而在成像中表示能够分辨两点之间的较小距离。这一性能指标在相同放大倍数下起着关键作用,因为不同的分辨率会导致观察到的表面形貌细节存在差异。下图对比展示了不同分辨率的图片,其中(a)是高分辨率图片,(b)是低分辨率图片。尽管两张图呈现了相似的试样形貌,但在形貌细节方面存在显著差异。高分辨率的(a)图清晰地展示了样品表面的形貌细节,而低分辨率的(b)图由于分辨率不足,无法清晰地观察到细节。
图片为不同分辨率图片对比(a)高分辨率(b)低分辨率
3、景深
扫描电镜具有大的景深,指的是在聚焦完成后,一定纵深范围内的物体都能呈现清晰的图像。这种纵深范围被称为景深。在聚焦时,扫描电镜能够清晰地显示聚焦面及其前后的图像,这使得观察表面的凹凸不平信息更为便捷。下图生动展示了扫描电镜的大景深特性,能够呈现出比较立体的图像,有效地还原样品的真实形貌。