进口扫描电镜是使用较为广泛的分析工具之一,因为它可以快速提供样品表面和近表面的高分辨率和高景深图像。结合微切刀的能力,它可以提供亚纳米分辨率的横截面图像,并缩短周转时间。因其作用特点,目前已广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。
工作原理:
扫描电镜由电子枪发射出来的电子束,在加速电压的作用下,经过磁透镜系统汇聚,形成直径为5nm,经过二至三个电磁透镜所组成的电子光学系统,电子束会聚成一个细的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈,在它的作用下使电子束在样品表面扫描。由于高能电子束与样品物质的交互作用,结果产生了各种信息:二次电子、背反射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等。这些信号被相应的接收器接收,经放大后送到显像管的栅极上,调制显像管的亮度。由于经过扫描线圈上的电流是与显像管相应的亮度一一对应,也就是说,电子束打到样品上一点时,在显像管荧光屏上就出现一个亮点。
扫描电镜正是这样利用逐点成像将样品表面的不同特性,依次、成比例地变换成视频信号来完成一帧,这样,我们就可以从荧光屏中看到试样表面多种特征图像。
进口扫描电镜下的图像结果:
一、材料失效分析,利用扫描电镜进行正确的金相分析各种光学显微镜不能分辨显微组织与精密结构,所以金相分析一般在低倍分析及光学显微镜分析的基础上结合结构分析(如X射线衍射分析、电子衍射分析)和微区成分分析(如波谱仪、能谱仪)等完成的。
二、断口分析来明确材料断裂机理,进行缺口分析,是扫描电镜在失效分析中比较主要的应用。能够对断裂机理进行分析归类,明确断裂的类型,并且对裂纹源位置和扩展方向作出判定,明确金属材料的主要断裂机理。
三、磨损产物分析,能够对磨损表面及磨损产物等进行分析,磨损表面携带了磨损主要的信息。磨损表面形貌有:擦伤、犁沟、点蚀、剥层、微动咬蚀及气蚀鱼鳞坑等,磨损产物主要有正常磨粒、疲劳剥块、球粒、层状磨粒、严重磨粒、切削磨粒、腐蚀磨损微粒、氧化颗粒、暗金属氧化物磨粒、有色金属磨粒、非金属晶体及非金属非晶体等。磨损产物的分析可以结合铁谱技术、体视技术、结构、成分分析等。
四、对腐蚀的检验分析,金属腐蚀失效会在表面或断口上留下各种腐蚀产物,其特点及相关形貌有:均匀腐蚀、斑点腐蚀、脓疮腐蚀、点腐蚀、晶间腐蚀、缝隙腐蚀、穿晶腐蚀等,一般情况通过宏观检验及光学显微镜分析,也可以进行精准分析。
五、钢索断裂的失效分析,电镜具有很高的分辨率,可以观察组成材料的颗粒或微晶,在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。