清洁度无尘室解决方案介绍

清洁度无尘实解决方案规划布局

可根据不同的客户要求进行清洁度无尘实验室规划布局：

清洁度无尘室解决方案整体规划布局：

1.风淋室、传递穿、可视玻璃窗

2.净化结构部分、净化系统部分、配电系统

3.各个功能区域的划分，例如：清洗制样区域、颗粒分析区域、文件存放区域等

4.清洁度无尘室满足ISO14644-2015、GB50073-2001等标准要求

清洁度无尘实验室承建主要分为：

1.净化结构部分

2.净化系统部分

3.配电部分

清洁度无尘实验室主要划分为以下几个区域：

1.员工更衣室区域

2.清洗制样区域

3.样品分析区域（称重以及颗粒大小分析）

4.样件传递区域

5.清洗液存放区域

6.文件存放区域

客户现场提供220V电源，常规用水即可。

无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

如表所示，每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了无尘标准的*。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于*，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。